隔膜式真空閥是利用閥桿將橡皮膜直接壓在閥座上用來截止或接通真空系統(tǒng)。閥體采用鋁合金鑄造，結構簡單，體積小，質量輕，密封性能良好。采用丁腈橡膠隔膜，適用于前級和預抽管道上及溫度為-25℃～80℃的非腐蝕性氣體。采用氟橡膠隔膜，可用于高真空系統(tǒng)，使溫度范圍為-30℃—150℃。
　　
　?、偕虾ｉy門二廠生產的GM高真空隔膜閥有GM型、GM-C型、GM-C-KF型、GM-D-H（工）型及GM-D-H(Ⅱ)型五種，其外形尺寸和主要技術性能見表7-17～表7-21。
　　
　　GM型高真空隔膜閥供接通或切斷真空系統(tǒng)之用。連接管焊接式真空隔膜閥更是溴化鋰制冷設備中的理想配件。適用介質為空氣及非腐蝕性氣體。 　　
　　②上海萬可姆高科技有限公司生產的GM型真空隔膜閥有GM-B型、GM-C型、GMH-A型和氣動型GMQ-A型、GMQ-B型、GMQ-C型六種。其外形尺寸和主要技術指標性能見表7-22和表7-23。
　　
　?、凵虾Ｈf可姆高科技有限公司生產的GMD型氣動真空隔膜閥是以壓縮空氣為動力，通過氣缸執(zhí)行機構開、關真空閥門，可廣泛用于自動控制的真空設備中。其氣動控制方式有：兩位兩通，彈簧復位，常閉；兩位兩通，彈簧復位，常開和兩位兩通，雙作用執(zhí)行機構三種。閥體材料為304、316L，漏率≤1×10-6Pa·L/s，閥門壽命≥3萬次。其外形尺寸見表7-24。
　　
　?、苌蜿柨茖W儀器研制中心有限公司生產的隔膜閥DM-1型，其主要技術性能參數(shù)和外形尺寸見表7-25。