真空室的極限真空通常總是低于真空抽氣機組的極限真空。兩者之差取決于Qo/Sp，在抽氣口附近泵有效抽速一定的條件下，真空室的極限真空正比于真空室的漏氣和出氣。
在設計真空系統時，漏氣量主要由真空室的極限真空和工作壓力來確定。一般選取低于工作狀態下氣體負荷(工藝生產中放出的氣體量)的十分之一。
表9-1給出了各種真空裝置允許的漏氣量值。
真空系統設計中的主要參數
2014-04-12 06:17:00 閱讀()
關注排行
2014-04-12 06:17:00 閱讀()
關注排行
網友評論
條評論
最新評論