螺桿式真空泵根據(jù)螺桿式壓縮機(jī)的工作原理作成。國內(nèi)外均有市售產(chǎn)品，特別適用于化工、制藥、航天航空等需要清潔抽氣的環(huán)境。
　　其基本結(jié)構(gòu)有兩種型式：①螺桿式真空泵。其抽氣原理如圖3-88所示。在螺桿式壓縮機(jī)中，螺旋轉(zhuǎn)子的螺旋圈數(shù)茌1圈以上，而螺桿真空泵的螺旋轉(zhuǎn)子的螺旋圈數(shù)在2圈以上。這樣可以減少返流量，提高壓縮比。單級(jí)泵可從105Pa抽到1Pa的極限壓力，抽速為60m3/h～120m3/h。②矩形螺旋式真空泵。其結(jié)構(gòu)原理如圖3—89所示。它由矩形斷面的右螺旋和左螺旋的一對(duì)轉(zhuǎn)子相嚙合，由同步齒輪帶動(dòng)實(shí)現(xiàn)非接觸式的高速運(yùn)轉(zhuǎn)，氣體由上側(cè)進(jìn)入，在泵腔內(nèi)壓縮，由轉(zhuǎn)子下端排除，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)一周排氣一次。由于轉(zhuǎn)子和泵體內(nèi)表面形成一種螺旋密封結(jié)構(gòu)，矩形斷面間隙泄漏較少，加上它的螺旋圈數(shù)多，故可以得到比螺桿式泵較高的壓縮比。這種泵可從105Pa抽到極限壓力10^-1Pa，抽速為40m3 /h～80m3/h。