渦旋式真空泵是一種新型干式真空泵，它是由渦旋式壓縮機(jī)演化而來的。其特點(diǎn)：①間隙小，泄漏小，具有較高的壓縮比，在較寬的工作壓力范圍內(nèi)有穩(wěn)定的抽速。②工作壓力范圍寬。由于壓縮腔容積的變化是連續(xù)的，因而驅(qū)動扭矩和功率變化小。③動靜渦旋形成的工作腔由于是對稱的，而且泵的結(jié)構(gòu)簡單、零部件少，故工作平穩(wěn)，振動小，噪聲低，工作可靠性高。④渦旋型線從等截面優(yōu)化為變截面，使抽除氣體的能力大大增強(qiáng)。⑤能在大氣壓下(10^5Pa)啟動，可直排大氣獨(dú)立工作。⑥對被抽容器無污染，可抽除可凝性氣體。⑦主要部件采用復(fù)合高分子材料，可抽除腐蝕性氣體。由于渦旋式真空泵性能優(yōu)越，所以作為新型的無油真空泵在國內(nèi)外真空行業(yè)內(nèi)越來越多引起人們的重視。
　　渦旋泵的基本結(jié)構(gòu)（圖3-86所示，主要包括左定子、右定子、轉(zhuǎn)子、曲軸、防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、進(jìn)氣口、排氣口等部分。氣體在由渦旋定子和渦旋轉(zhuǎn)子組成的月牙腔內(nèi)壓縮，渦旋定子固定在機(jī)架的周邊上，在渦旋定子的周邊上開有吸氣口，在轉(zhuǎn)子和定子渦旋體中心部開有排氣口。渦旋轉(zhuǎn)子隨著曲軸的回轉(zhuǎn)似偏心量R or作半徑繞定子中心作公轉(zhuǎn)運(yùn)動。渦旋轉(zhuǎn)子還受防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的約束，不能自轉(zhuǎn)，始終保持著一種固定的姿勢，其中心繞渦旋定子的中心作半徑為Ror的圓周運(yùn)動。