爪式真空泵屬于變?nèi)菔?a href="http://barher.cn/search/?q=%E7%9C%9F%E7%A9%BA%E6%B3%B5&Submit=%E6%90%9C%E7%B4%A2" target="_blank" class="keylink">真空泵，從使用壽命所能達(dá)到的壓縮比、轉(zhuǎn)速及動(dòng)平衡性等方面考慮，在結(jié)構(gòu)上多采用多級(jí)爪式轉(zhuǎn)子串聯(lián)，或羅茨轉(zhuǎn)子與多級(jí)爪式型轉(zhuǎn)子串聯(lián)，組合成多級(jí)爪式真空泵。多級(jí)爪式真空泵的抽氣過(guò)程示意圖如圖3-82所示。

　　這種爪式泵由于沿軸向逆流少，所以壓縮比在高壓區(qū)較高。也因泵的吸排氣口設(shè)置在泵腔的端壁上，多級(jí)連接很方便，氣道流暢，故泵內(nèi)腔壓力變化平緩，有利于防止可凝性氣體的凝結(jié)。目前爪式真空泵極限壓力為1Pa—10Pa，抽速為100m^3/h—180m^3/h。
　　爪式真空泵的工作原理如圖3-83所示。

　　具體抽氣過(guò)程分四個(gè)坤程：第一沖程：如圖3-83(a)所示，開始轉(zhuǎn)子對(duì)在初始位置，S腔的體積z*小，而且和吸氣口接通，S腔所處的容積不斷增加，被抽氣體進(jìn)入S腔，體積較大的T腔則處于不斷縮小狀態(tài)。第二沖程：隨著轉(zhuǎn)子對(duì)的不斷運(yùn)動(dòng)，如圖3-83(b)所示。S腔正在不斷加大，吸入的氣體也越來(lái)越多，丁腔正不斷縮小，當(dāng)和排氣口剛好接通時(shí)開始排氣。第三沖程：如圖3-83(c)所示，轉(zhuǎn)子對(duì)繼續(xù)運(yùn)動(dòng)，使丁腔變得z*小，氣體得到z*大限度壓縮，S腔變得z*大，吸氣排氣快要結(jié)束。第四沖程：如圖3-83（引所示，S腔和T腔合為一體，泵腔不再吸排氣，進(jìn)、排氣口都自行關(guān)閉。這就是爪式真空泵抽氣的工作全過(guò)程。