真空密封材料中，橡膠密封圈的主要缺點(diǎn)是不耐烘烤且在室溫下放氣量大，所以許多要求高溫烘烤( >200℃)和只準(zhǔn)使用低蒸氣壓(室溫時(shí)蒸氣壓<10-10Pa)材料的超高真空系統(tǒng)裝置，不能使用橡膠密封，而需用金屬密封圈密封。
　　
　　真空密封材料中，金屬密封圈有兩個(gè)突出的優(yōu)點(diǎn)：①放氣遠(yuǎn)比橡膠少；②用它密封的系統(tǒng)和裝置可以在高溫下烘烤去氣，因此能滿足超高真空的要求。
　　
　　任何事物都是一分為二的。真空密封材料中，金屬密封也有很多缺點(diǎn)：
　　
　?、俳饘倜芊馊椥圆睿枰艽蟮拿芊饬Σ拍鼙Ｕ峡煽康恼婵彰芊?；
　　
　?、谥貜?fù)使用性很差，有些金屬密封圈只能使用一次；
　　
　?、鄯ㄌm密封面和刀口的粗糙度和配合精度要求高，很小的傷痕都能破壞密封，特別是大尺寸法蘭加工很困難；
　　
　　④密封圈和法蘭材料的熱膨脹系數(shù)相差較大，加熱不均勻或密封結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)得不正確，會(huì)引起局部變形而造成漏氣。