油擴(kuò)散泵加熱時(shí)間和功率的測(cè)試方法:
①加熱時(shí)間的測(cè)試啟動(dòng)并接通前級(jí)泵,預(yù)抽被試泵及測(cè)試裝置系統(tǒng)。經(jīng)微調(diào)閥控制測(cè)試罩內(nèi)壓力為1OPa,然后測(cè)得自接通被試泵加熱器電源到罩內(nèi)壓力降至10-lPa所需的時(shí)間,這段時(shí)間即為泵的加熱時(shí)間。
①加熱時(shí)間的測(cè)試啟動(dòng)并接通前級(jí)泵,預(yù)抽被試泵及測(cè)試裝置系統(tǒng)。經(jīng)微調(diào)閥控制測(cè)試罩內(nèi)壓力為1OPa,然后測(cè)得自接通被試泵加熱器電源到罩內(nèi)壓力降至10-lPa所需的時(shí)間,這段時(shí)間即為泵的加熱時(shí)間。
②加熱功率的測(cè)試
用瓦特表及電流互感器測(cè)量被試泵加熱器電功率。
在加熱功率測(cè)試過(guò)程中允許使用交流穩(wěn)壓器,以維持穩(wěn)定的電功率。
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