渦輪分子泵的基本參數(shù)見表3-103。

渦輪分子泵技術(shù)要求
①渦輪分子泵的主耍技術(shù)性能應(yīng)符合表3-103和按規(guī)定程序批準的設(shè)計圖樣要求。
②渦輪分子泵在下列環(huán)境條件下應(yīng)能正常工作：
a．環(huán)境溫度為4℃～40℃；
b．空氣相對濕度小于85%;
c．冷卻水進水溫度不高于25℃。
③渦輪分子泵泵應(yīng)避免抽除帶粉塵、腐蝕性或爆炸性氣體。泵在正常運轉(zhuǎn)時不允許直接引入大氣，不允許有強烈徑向振動。
④為了除氣目的，對泵殼、測試罩和真空測量規(guī)管進行烘烤，其烘烤溫度不得超過以下規(guī)定：
a．渦輪分子泵體及渦輪分子泵殼上法蘭：120℃；
b．測試罩或真空容器：300℃；
c．真空測量規(guī)管：400℃。
⑤推薦前級泵應(yīng)符合表3-104的要求：