1.渦輪分子泵相關(guān)定義
①渦輪分子泵抽氣速率。渦輪分子泵在正常工作條件下，單位時(shí)間內(nèi)被抽氣體通過(guò)測(cè)試罩流經(jīng)分子泵進(jìn)氣口的體積，即氣體流量與測(cè)試罩規(guī)定位置測(cè)得的平衡壓力之商。
②渦輪分子泵極限壓力。渦輪分子泵在規(guī)定的工作條件下，不向測(cè)試罩引入氣體，泵殼和測(cè)試罩經(jīng)烘烤后48h內(nèi)在測(cè)試罩規(guī)定位置測(cè)得的平衡壓力。
③渦輪分子泵壓縮比。通過(guò)渦輪分子泵進(jìn)氣口的氣流量為零，被抽氣體在前級(jí)區(qū)的分壓力至少占全壓力的90%以上，渦輪分子泵的前級(jí)壓力與進(jìn)氣口壓力之比為分子泵對(duì)該氣體的壓縮比。
④渦輪分子泵啟動(dòng)時(shí)間。從接通電源到渦輪分子泵轉(zhuǎn)速達(dá)到額定轉(zhuǎn)速的90%所需的時(shí)間。
2.渦輪分子泵型號(hào)表示方法，詳見(jiàn)下圖：
標(biāo)記示例：進(jìn)氣口徑為100mm，抽泣速率為220L/s的立式渦輪分子泵，標(biāo)記為F-100/220。