①概述為了測量臨界力前級壓力，蒸氣流泵應(yīng)按制造廠規(guī)定的泵液種類及用量、加熱功率以及冷卻條件進(jìn)行正常工作。
　　
　　測試過程中，室溫應(yīng)在15℃-25℃之間，測量前，泵應(yīng)達(dá)到熱平衡并抽至極限壓力。
　　
　　在這些條件下，泵人口以上裝置溫度(如圖4-50所示)和泵出口法蘭與進(jìn)氣微調(diào)閥(B)(如圖4-50所示)間連管的溫度，應(yīng)穩(wěn)定在±1℃，且應(yīng)在15℃～25℃之間。
　　
　　注：可以在其它室溫下測量臨界前級壓力，如果在其它室溫下測量，應(yīng)適當(dāng)提供所用測量儀表工作條件。
　　
　?、?ldquo;空載”程序當(dāng)測試罩達(dá)到極限壓力時，逐漸開啟前級管路進(jìn)氣微調(diào)閥(B)，使前級管路壓力以微小增量逐步升高并同時觀測測試罩壓力的變化，直至前級壓力微小增高率使泵口吸人壓力增高率達(dá)到或超過10%。然后，通過進(jìn)氣微調(diào)閥(B)的控制，在此臨界區(qū)域進(jìn)行詳細(xì)探測，從而得出隨前級壓力而變化的泵口吸入壓力函數(shù)曲線。在該曲線上符合(1)中①所規(guī)定的增高率變化的點，便確定為“空載”臨界前級壓力。在氣體流率為零時前級管路中的初始壓力應(yīng)小于測得的臨界前級壓力的10%。
　　
　?、?ldquo;滿載”、中間載程序
　　
　　a.開啟測試罩側(cè)壁的進(jìn)氣微調(diào)閥(A)，使泵口吸入壓力在符合要求的范圍內(nèi)測量氣體流率。并重復(fù)進(jìn)行空載程序所敘述的氣流通過進(jìn)氣微調(diào)閥(B)的操作程序，測得中間載若干點的臨界前級壓力。在連續(xù)操作之間關(guān)閉閥(B).直至達(dá)到泵穩(wěn)定正常工作z*大氣體流率。
　　
　　注：泵穩(wěn)定正常工件的z*大氣體流率有時受前級泵抽氣速率的限制，當(dāng)前級泵抽氣速率小于蒸氣流泵正常工作z*大氣體流率除以前級壓力所得之商時，需要更換前級泵。直到滿足蒸氣流泵z*大氣體流率的要求為止。
　　
　　通過進(jìn)氣微調(diào)閥(A)控制測試罩壓力，穩(wěn)定在z*大吸入壓力附近。例如，油擴散泵為3×10 -1Pa，油擴散噴射泵為7×10-lPa，按上述程序便可測得相應(yīng)的“滿載”臨界前級壓力值，代表被測泵的臨界前級壓力。此值即為蒸氣流泵所允許的z*高前級壓力值，超過此值便破壞了正常工作。
　　
　　b.在進(jìn)行(4)中②“空載”程序和(4)中③“滿載”中間載程序所述試驗時，從測量前3min開始，蒸氣流泵的加熱功率應(yīng)保持在正常值的±4%。冷卻波動率在制造廠推薦值的±10%內(nèi)?！　〕趾愣?。