?、贉y試罩如圖4-48所示,應(yīng)符合JB/T 8472.1-96(2)中測試罩的規(guī)定。
?、跍y試裝置的組成測試裝置如圖4-50所示,需要下列設(shè)備:
a.將氣體引入測試罩的進(jìn)氣微調(diào)閥(A)與適宜的氣體流率測量儀相連接。
b.設(shè)于前級泵入口附近的進(jìn)氣微調(diào)閥(B),該閥(B)與規(guī)管(對應(yīng)于C)之前相應(yīng)前級管路長度應(yīng)大于200mm。
c.用以測量前級管路壓力的真空計(jì)(C)的規(guī)管靠近蒸氣流泵出口。該規(guī)管裝于前級管路直的、內(nèi)徑均勻的部位。前級管路內(nèi)徑與蒸氣流泵出口內(nèi)徑相等。規(guī)管接管應(yīng)與該部位前級管路軸線垂直,接管管端與前級管路內(nèi)表面平齊。
真空計(jì)(C)的規(guī)管的接管尺寸應(yīng)保證其z*大流導(dǎo)。規(guī)管與前級管路之間的接管長度應(yīng)不超過150mm。
d.測量測試罩壓力的真空計(jì)(D)的規(guī)管接管插入罩內(nèi)的長度,不得超過連接管內(nèi)徑d2的0.5倍。
測試過程中,真空計(jì)壓力讀數(shù)取兩位有效數(shù)字,并注明真空計(jì)種類。所用真空計(jì)必須經(jīng)過國家計(jì)量部門承認(rèn)的校準(zhǔn)單位對干燥空氣進(jìn)行校準(zhǔn)。
當(dāng)壓力高于或等于lPa時(shí),其校準(zhǔn)精度在±5%以內(nèi)。壓力更低時(shí),校準(zhǔn)精度在±10%以內(nèi)。
?、墼囼?yàn)氣體除另有規(guī)定外,應(yīng)使用干燥空氣。
注:一般采用硅膠使空氣干燥是適宜的。
油擴(kuò)散泵臨界前級壓力的測定裝置
2014-03-07 06:00:00 閱讀()
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