羅茨泵是按羅茨鼓風機的原理工作的,如圖3-57所示。
工作時,被抽氣體由進氣口進入轉(zhuǎn)子與泵體之間,這時一個轉(zhuǎn)子和泵體把氣體與進氣口隔開,被隔開的氣體(如圖上影線部分所示)在轉(zhuǎn)子連續(xù)不斷的一旋轉(zhuǎn)過程中,被送到排氣口。在圖3-57(a)中,Vo空間是處在封閉狀態(tài)的,因此,沒有壓縮和膨脹。但當轉(zhuǎn)子的峰部轉(zhuǎn)到排氣口邊緣時,由于VO部分的壓力較之排氣口處的壓力低,為了使相連體積內(nèi)壓力均勻,氣體就會從排氣口處擴散到Vo區(qū)域,其擴散方向與轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)方向相反。當轉(zhuǎn)子再轉(zhuǎn)動時,把VO處的氣體壓縮到排氣口將其排出。這時轉(zhuǎn)子的另一面與進氣口相連部分則吸入氣體,當轉(zhuǎn)子不斷地旋轉(zhuǎn)時,重復上述抽氣過程不斷地排出流進來的氣體。這種工作過程相當于轉(zhuǎn)子空間由某一z*小值蝤加到z*大值,然后再由z*大值減小到z*小值。這就是羅茨真空泵的容積作用原理。
羅茨泵在入口壓力很低情況下工作時,由于轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速很高(1000r/min~3000r/min),轉(zhuǎn)子表面的線速度接近于分子的熱運動速度,這時碰撞在轉(zhuǎn)子上的氣體分子被轉(zhuǎn)子攜帶到壓力較高的排氣口,再被預真空泵排除。這就是羅茨真空泵的分子作用原理。
羅茨真空泵的工作原理
2014-03-04 11:33:20 閱讀()
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