本標(biāo)準(zhǔn)采用下列定義:
?、俪闅馑俾?體積流率)。理論概念是指單位時(shí)間內(nèi)通過標(biāo)準(zhǔn)測試罩流經(jīng)泵入口截面的氣體體積,簡稱為抽速。其單位是L/s。實(shí)際計(jì)算泵按規(guī)定條件工作時(shí),對給定氣體的抽氣速率S,是通過測試罩的氣體流率Q除以測試罩指定位置平衡壓力p所得之商確定:
S= Q/p
對蒸氣流泵來說,只有當(dāng)p超過lOPa時(shí),抽氣速率的計(jì)算才接近真實(shí)值。此處p是用相同的真空計(jì)測得的極限壓力。
?、跍y試罩。裝在泵人口處的具有規(guī)定的型式和尺寸的組件。試驗(yàn)氣體通過罩進(jìn)入泵內(nèi),其側(cè)壁裝有進(jìn)氣微調(diào)閥和真空計(jì)規(guī)管。
?、蹣O限壓力。泵按規(guī)定條件工作,關(guān)閉進(jìn)氣閥門,在測試罩內(nèi)趨向穩(wěn)定的z*低壓力。
蒸氣流真空泵抽氣速率的定義
2014-03-04 06:01:00 閱讀()
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