鋯鋁泵的工作條件，主要是根據(jù)鋯鋁合金吸氣帶的吸氣特性，對不同的工作情況選擇z*適宜的工作溫度。因此在設計或使用鋯鋁泵時，要了解泵內(nèi)使用鋯鋁吸氣帶的吸氣特性。

1.基帶涂層厚度和吸氣性能

2.鋯鋁吸氣帶的再生激活

當吸氣劑長時間工作在高溫下出現(xiàn)“飽和”，使吸氣速率降低到原來的80%時，或吸氣劑表面形成氧化膜使吸氣速率消失等情況，都必須進行再激活處理，也就是高溫處理(700℃～900℃，壓力低于1Pa)，使吸氣劑表面的固體氧化膜(和其它化合物膜)進行分解，使金屬和氣體的生成物向更深的體內(nèi)擴散，生出高度活潑清潔的金屬表面，同時還可以除去過量的氫。鋯鋁吸氣劑對氫的吸收和其它氣體不同。大多數(shù)活性氣體如02、CO、N2、C02、H2O等同吸氣劑形成熱穩(wěn)定性化合物，在激活時，主要是向體內(nèi)擴散。而氫卻不同，它在吸氣劑內(nèi)呈固溶體吸收，吸附特性對溫度的依賴性很強。對氫的吸氣是物理吸附，在溫度為200℃～350℃時，大量吸H2;在350℃-400℃時，H2能滲透到合金里面;而在500℃以上時，有些H2就釋放出來。對H2的吸附平衡等溫線符合下列關系式

在高溫激活時，主要是釋放氫氣。鋯鋁16含金對H2有大的抽氣速率，在一定溫度下有一定的平衡壓力，如圖5-87所示。激活效率與激活溫度、時間有關，如圖5.88所示。從圖中可看出，激活溫度高，則激活時間短，反之激活時間就長。但當激活溫度低于730℃時，無論激活多久也不能得到全激活。全激活和部分激活只能影響吸氣劑的抽氣速率和一次吸氣量，而不影響總的吸氣量。


 

3.鋯鋁吸氣帶的工作溫度

鋯鋁吸氣帶的工作溫度應隨不同的工作情況按下列要求選用不同的工作溫度：

①壓力低于10-3Pa，抽活性氣體(如CO、C02、N2、02)時，工作溫度為400℃。因這時體內(nèi)擴散速率使合金表面維持足夠的吸氣速率而不能釋放H2。

②在10-3Pa—1Pa壓力范圍內(nèi)，抽活性氣體(如CO、C02，N2、02、H20、CH4等時)，工作溫度用750℃。這時需要提高溫度加快體內(nèi)擴散速率，進而加速清洗吸氣劑表面。

③對H2要求高抽速，并在系統(tǒng)中出現(xiàn)活性氣體雜質(zhì)1%的環(huán)境中用400℃。

④對純H2要求大抽速和大吸氣量時，工作溫度為200℃～300℃。

⑤抽純H2要求盡可能大的吸氣量而對抽速要求不高時，可在25℃常溫下工作。

在高真空或超高真空系統(tǒng)中使用，工作溫度一般為400℃。