鋯鋁吸氣泵(簡(jiǎn)稱(chēng)鋯鋁泵)是用鋯鋁合金吸氣材料(84%鋯、16%鋁，簡(jiǎn)稱(chēng)鋯鋁16)在高溫下吸附活性氣體的新型泵。對(duì)活性氣體尤其是對(duì)氫具有很高的抽氣能力，但不能抽惰性氣體。

對(duì)氫及其同位素氘、氚的吸氣是可逆的，而對(duì)其它活性氣體如C0、C02、02、N2、H20等的吸氣是以穩(wěn)定的化合物擴(kuò)散到吸氣劑體內(nèi)，但存在飽和壽命問(wèn)題。在10-8Pa—1Pa的壓力范圍內(nèi)抽氫速率幾乎保持恒定。對(duì)其它活性氣體吸氣速率，在壓力低于10-3Pa、工作溫度400℃時(shí)達(dá)到飽和。該泵對(duì)各種活性氣體的吸氣速率隨著吸氣劑吸氣量的增加而降低。當(dāng)吸氣速率隨吸氣量的增加而達(dá)到名義抽速的80%時(shí)，要在高溫下進(jìn)行再激活處理。再激活的次數(shù)一般可達(dá)20次。

鋯鋁泵結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積小、造價(jià)低、操作安全可靠、維修方便，清潔無(wú)油。特別適用于抽除以氫為主的抽氣系統(tǒng)。在受控?zé)岷朔磻?yīng)裝置中用來(lái)貯存和釋放氫、氘、氚。在高能加速器的真空系統(tǒng)中與渦輪分子泵或?yàn)R射離子泵同時(shí)工作，能提高系統(tǒng)的極限真空。用在超高真空裝置時(shí)可連同裝置一起放進(jìn)烘烤箱中，不用外加電源便可作烘烤時(shí)的維持泵。此外還可用于濺射離子泵的啟動(dòng)。