1.擴散泵結構設計上的改進
　　
　　改進擴散泵的結構，如加分餾裝置;合理分配鍋爐加熱功率，增大鍋爐中心區;改進噴嘴角度設計;在一級導流管中加裝加熱器進行氣相加熱，以增加蒸氣流速度減少蒸氣流的散射。上述措施也以減少油的裂化、返流，提高擴散泵的極限真空。
　　
　　2.減少油蒸氣的返流
　　
　　(1)加擋油帽
　　
　　在第一級噴嘴上面，加水冷擋油帽，通常可使返油量降低半個到二個數量級。
　　
　　(2)障板
　　
　　使用水冷或低溫介質冷卻的各種擋板，可使返油量大大降低。
　　
　　(3)冷阱
　　
　　使用液氮冷阱捕集返流蒸氣。液氮冷阱不能全部把油蒸氣擋住，仍有少量的油蒸氣分子通過冷阱進入被抽容器中，其途徑如圖4-32所示：

　　
　　①兩個油分子之間的碰撞;②油分子和氣體分子的多次碰撞;⑧沒被捕獲的油分子反彈到高真空的區域中;④室溫下油從泵壁表面遷移。擴散泵系統采用液氮冷阱后可獲得10-8Pa—l0-9Pa的極限真空。
　　
　　(4)吸附阱
　　
　　擴散泵進氣口安裝13X型分子篩或氧化鋁吸附阱吸附返流的油蒸氣后，可以獲得10^-8Pa—10 ^-9Pa的真空度。這種阱有如下點：①吸附劑易粉末化;②吸附劑要再活化;⑧需經常更換吸附劑，操作不便。
　　
　　(5)鈦升華阱
　　
　　擴散泵和真空室之間裝上用液氮冷卻的鈦升華阱，既可以消除有機物蒸氣對系統的污染，又能降低co、Co2和H2的分壓。表4-25表示了典型油擴散泵系統加上冷凍鈦升華阱后，性能進一步提高的情況。
　　
　　(6)閥門
　　
　　擴散泵油的返流，在泵啟動和停止后的一段時間內有兩個z*大峰值(圖4-33)，泵運轉時可利用閥門的關閉避開這兩個z*大返油區。

　　3.減少氣體的反擴散
　　
　　反擴散過去的氣體的分壓pf和擴散泵前級排氣口處該氣體的分壓pj成正比，即pf=ypj。降低前級壓力pj和壓縮比y可以降低pj。
　　
　　擴散泵的前級再串接一臺擴散泵可以降低前級氣體分壓pj。采用多級泵(目前多采用四級泵代替原來的三級泵)，則可以降低壓縮比y，使反擴散減少。