1961年，有人發(fā)現(xiàn)低溫泵在抽除冷凝氣體的同時(shí)，殘余的非冷凝氣體也一起被排除了，而且非冷凝氣體的排除量比物理吸附的量還大。后來又有人發(fā)現(xiàn)，用77K冷凍面抽除冷凝氣體C02時(shí)，非冷凝性氣體N2也被抽除了。如果用77K的冷凍面來抽水蒸氣時(shí)，伴之對(duì)氮的抽氣效果更好。這是由于在深冷條件下形成的深冷霜對(duì)非冷凝氣體有一定的抽氣能力，這種現(xiàn)象稱為深冷霜吸氣現(xiàn)象。深冷霜的吸附實(shí)驗(yàn)曲線如圖5-49～圖5-52所示。

　　
　　深冷霜抽氣的實(shí)驗(yàn)結(jié)果見表5-21～表5-23。