生產廠提供的低溫泵,大都將低溫板和防輻射屏裝在泵殼內,通過泵口A對真空容器抽氣(圖5-44)。設泵內W截面上的抽速為Sp,泵口的流導為U,這時低溫泵泵口的有效抽速S為
泵內W截面抽速Sp用公式(5-19)計算。可以看出,外裝式低溫泵的有效抽速總是低于內裝式低溫泵的抽速(泵的內芯結構相同)。大型真空設備(環模、受控熱核反應裝置等)采用內裝式低溫泵,能獲得更大的抽速。
圖5-45是低溫泵對N2的典型抽速曲線。高壓下(10-2Pa以上)低溫泵的抽速升高(制冷功率足夠大)的原因是由于泵口和屏蔽板在粘滯流時流導增大,抽速、抽氣量隨之增大,當抽氣量增大到一定值時,氣體的冷凝熱導致低溫板溫度升高,引起抽速下降。
低溫泵抽氣口對抽速的影響
2014-02-21 06:32:00 閱讀()
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