生產(chǎn)廠提供的低溫泵,大都將低溫板和防輻射屏裝在泵殼內(nèi),通過泵口A對(duì)真空容器抽氣(圖5-44)。設(shè)泵內(nèi)W截面上的抽速為Sp,泵口的流導(dǎo)為U,這時(shí)低溫泵泵口的有效抽速S為
泵內(nèi)W截面抽速Sp用公式(5-19)計(jì)算??梢钥闯?,外裝式低溫泵的有效抽速總是低于內(nèi)裝式低溫泵的抽速(泵的內(nèi)芯結(jié)構(gòu)相同)。大型真空設(shè)備(環(huán)模、受控?zé)岷朔磻?yīng)裝置等)采用內(nèi)裝式低溫泵,能獲得更大的抽速。
圖5-45是低溫泵對(duì)N2的典型抽速曲線。高壓下(10-2Pa以上)低溫泵的抽速升高(制冷功率足夠大)的原因是由于泵口和屏蔽板在粘滯流時(shí)流導(dǎo)增大,抽速、抽氣量隨之增大,當(dāng)抽氣量增大到一定值時(shí),氣體的冷凝熱導(dǎo)致低溫板溫度升高,引起抽速下降。
低溫泵抽氣口對(duì)抽速的影響
2014-02-21 06:32:00 閱讀()
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