降低低溫泵消耗的能量是低溫泵設計中的一個重要問題。用于環模設備中的低溫泵都用77K屏蔽板將20K低溫板屏蔽起來,以減少低溫泵的功率損耗。但屏蔽板卻增大了氣體的流阻,降低了氣體溫度,影響了低溫冷凝面的抽速。帶有液氮屏蔽板的低溫泵的抽氣速率公式為
可以忽略,因此,由式(5-18)可以得到
屏蔽板的流導概率UB由屏蔽板的幾何形狀決定,流導概率大、熱負荷又小的z*佳尺寸可用蒙特卡羅方法計算出來(見表5-16、5-17)。
屏蔽擋板對低溫泵抽速的影響
2014-02-20 07:09:00 閱讀()
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