油擴(kuò)散噴射真空泵又稱油增壓泵。其工作壓力范圍為10Pa—10 ^-2Pa,在此工作壓力范圍內(nèi)油擴(kuò)散噴射真空泵具有較大的抽速和z*大出口壓力。通常它比同口徑的油擴(kuò)散泵的抽氣量高4倍~20倍,加熱功率高2倍~5倍。按其工作范圍,它介于油封機(jī)械泵(1×10^5Pa—10^ -2Pa)和油擴(kuò)散泵(10 ^-2Pa—10^-6Pa)的工作壓力范圍之間。該泵的優(yōu)點(diǎn)是在1Pa—10^-1Pa壓力范圍內(nèi)有較大的抽速,可以彌補(bǔ)油封機(jī)械泵和高真空油擴(kuò)散泵在此區(qū)間抽速較小的缺點(diǎn)(因?yàn)樵?0^-1Pa低壓力范圍油封機(jī)械泵的抽速有明顯的降低,而大多數(shù)高真空油擴(kuò)散泵在此壓力范圍內(nèi)的抽速也較小)。此外,它的z*大反壓力較油擴(kuò)散泵高(大于10^2Pa),所以油擴(kuò)散噴射泵除可用作真空系統(tǒng)主泵使用之外,還可以用到油擴(kuò)散泵的出口處來(lái)增加其出口壓力,在排除一定量的氣體時(shí),能相對(duì)地減少所配置的前級(jí)泵的容量,使前級(jí)機(jī)械泵能有效地工作,故油擴(kuò)散噴射泵又稱為油增壓泵。
油擴(kuò)散噴射泵與羅茨式真空泵相比較,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,無(wú)機(jī)械轉(zhuǎn)動(dòng)部分,運(yùn)轉(zhuǎn)可靠,維護(hù)方便,使用壽命長(zhǎng),廣泛用于真空冶金爐,如真空感應(yīng)爐,真空電弧爐,電容器的真空干燥和浸漬,真空蒸餾設(shè)備,石油化工、塑料連續(xù)噴鍍,低密度風(fēng)洞設(shè)備,固體火箭發(fā)動(dòng)機(jī)點(diǎn)火模擬設(shè)備和固體發(fā)動(dòng)機(jī)高空試車(chē)臺(tái)等設(shè)備中。
但是,油擴(kuò)散噴射泵不適用于抽除對(duì)金屬有腐蝕作用或與泵油產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)的氣體。
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