上海真空泵廠、成都國投南光機器廠生產(chǎn)的S型、SP型兩種規(guī)格的鈦球升華泵,采用熱輻射球式鈦升華器做泵芯,泵壁水冷,靠熱絲輻射加熱鈦球,具有蒸發(fā)面積大、升華均勻、操作方便、壽命長等特點。其主要技術(shù)性能參數(shù)見表5-2。
(2)鈦鉬合金絲式鈦升華器
?、俦本?a href="http://barher.cn/ppzs/" target="_blank" class="keylink">中科科儀發(fā)展有限責(zé)任公司生產(chǎn)的TSB型鈦升華器泵芯,主要由裝有鈦鉬絲的支座構(gòu)成。鈦鉬絲用螺釘固定,便于移動和更換,芯柱安裝在陶瓷密封法蘭上,可烘烤至400℃。
外型尺寸圖如圖5-11、5-12所示。
②中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器研制中心有限公司生產(chǎn)的TSB型鈦升華泵芯外形及供電電
源參數(shù)見表5-3。
鈦升華泵芯的規(guī)格如下:
每根鈦鉬絲的質(zhì)量/g 3.84
每個泵芯中的鈦鉬絲根數(shù)/根 3
每根鈦鉬絲的含鈦量/g 3.84×85%
工作壓力范圍/Pa 2~1×10-9
TSB型鈦升華泵其每平方厘米鈦升華表面對各種氣體的抽速見表5-4。
TSBD型鈦升華泵電源可方便有效地控制泵的工作。它分“手動模式”和“自動模式”兩種。對前者,操作者可根據(jù)系統(tǒng)真空度,任意調(diào)節(jié)鈦絲加熱電流(此電流值指示在面板的電流表上)和加熱時間。對后者,操作者只要旋轉(zhuǎn)面板上的時間繼電器,確定好鈦鉬絲加熱的間隔時間和加熱電流值,控制電源就可連續(xù)工作下去,自動控制鈦絲的升華量。其技術(shù)規(guī)格見表5-5。
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