上個(gè)世紀(jì)90年代初，世界上s*臺(tái)渦旋真空泵推向市場，渦旋技術(shù)開始作為一種新型真空獲得技術(shù)在世界范圍內(nèi)被推廣應(yīng)用。無油渦旋真空泵的渦旋盤就是一個(gè)一端與一個(gè)平面相接的一個(gè)或幾個(gè)漸開線螺旋形成一個(gè)渦旋型盤狀結(jié)構(gòu)。一個(gè)靜渦旋盤與一個(gè)動(dòng)渦旋盤組成的一對渦旋盤付構(gòu)成了無油渦旋真空泵的基本抽氣單元。動(dòng)渦旋盤由偏心軸驅(qū)動(dòng)與靜渦旋盤做相對擺動(dòng)運(yùn)動(dòng)形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出、完成吸氣、壓縮、排氣的循環(huán)。

　　與其他種類的無油真空泵相比無油渦旋真空泵具有下述特點(diǎn)：

　　① 無油，無摩擦---非接觸，無磨損，不產(chǎn)生微粒塵埃污染，可獲得清潔真空；
　?、?抽氣量大---雙渦旋盤結(jié)構(gòu)與單級相比相同直徑泵抽氣容積為2倍，節(jié)省能源；
　?、?抽氣效率高---帶有3-4個(gè)抽氣單元，壓差小；大氣與真空之間由0型圈密封，泄漏低；
　?、?非接觸，良好平衡，力矩影響小，噪音低，振動(dòng)??；
　　⑤ 結(jié)構(gòu)簡單緊湊，相同尺寸下，運(yùn)動(dòng)半徑小，運(yùn)行平穩(wěn)；
　?、?體積小，維修方便，維護(hù)費(fèi)用低；　　
　?、?采用空氣冷卻，無需水冷。

　　該渦旋真空泵主要應(yīng)用于下述領(lǐng)域：

　?、?半導(dǎo)體行業(yè)——薄膜制備設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備；
　?、?科學(xué)儀器行業(yè)——同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測試儀器；
　　③ 機(jī)械設(shè)備行業(yè)——材料制備設(shè)備、真空檢測、材料提純設(shè)備；
　　④ 化學(xué)工業(yè)；
　　⑤ 醫(yī)療設(shè)備——牙科儀器、透析機(jī)、生物制品與藥品制備；
　?、?包裝行業(yè)——食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備。

　　該渦旋真空泵能夠給用戶解決真空系統(tǒng)的污染與振動(dòng)等基礎(chǔ)、共性問題，并且使系統(tǒng)制造與運(yùn)行成本降低。因此在國外市場擴(kuò)展迅速，僅日本一個(gè)公司產(chǎn)品在中國z*近3年間銷售額就增長了10倍。是一項(xiàng)不容忽視的技術(shù)與產(chǎn)品。
　　本文總結(jié)了無油渦旋真空泵的技術(shù)發(fā)展與應(yīng)用，內(nèi)容包括從渦旋技術(shù)的發(fā)展到無油渦旋真空泵的工作原理、制造工藝、技術(shù)指標(biāo)、特點(diǎn)、基本用途和實(shí)際應(yīng)用方法；對無油渦旋真空泵技術(shù)有一個(gè)系統(tǒng)的介紹。