在真空技術(shù)的應(yīng)用中，真空的獲得和真空度的測量是兩個(gè)z*重要的方面?！　?br /> 　　
　　一個(gè)真空系統(tǒng)，必須要有真空獲得的設(shè)備和真空度的測量儀器。目前常用的真空獲得設(shè)備主要有旋片式真空泵、水環(huán)式真空尖、滑閥式真空泵、油擴(kuò)散泵、渦輪分子泵、離子濺射泵、升華泵等。真空測量儀器主要有U型真空計(jì)、熱傳導(dǎo)真空計(jì)、電離真空計(jì)等。隨著電子技術(shù)和計(jì)算機(jī)技術(shù)的發(fā)展，各種真空獲得設(shè)備向高抽速、高極限真空、無污染方向發(fā)展。各種真空測量設(shè)備與微型計(jì)算機(jī)相結(jié)合，具有數(shù)字顯示、數(shù)據(jù)打印、自動(dòng)監(jiān)控和自動(dòng)切換量程等功能。　　
　　
　　什么是真空系統(tǒng)？用一句話來概括就是用來獲得有特定要求的真空度的抽氣系統(tǒng)。真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)的基本內(nèi)容：是根據(jù)生產(chǎn)工藝流程或真空實(shí)驗(yàn)對(duì)真空度的要求，來選擇適當(dāng)?shù)恼婵障到y(tǒng)設(shè)計(jì)方案。先要確定真空度的使用要求、真空容器容量、抽氣速率、所抽氣體性質(zhì)四個(gè)指標(biāo)，然后再根據(jù)這四個(gè)指標(biāo)進(jìn)行選、配真空泵；z*后確定導(dǎo)管、閥門、捕集器、真空測量元件等，進(jìn)行合理配置，劃出真空系統(tǒng)裝配圖和零部件圖。　　
　　
　　真空系統(tǒng)的簡單構(gòu)架　　
　　
　　真空應(yīng)用設(shè)備種類繁多，但無論何種真空應(yīng)用設(shè)備都有一套排除被抽容器內(nèi)氣體的抽氣系統(tǒng)，以便在真空容器內(nèi)獲得所需要的真空條件。舉例來說：一個(gè)真空處理用的容器，用管道和閥門將它與真空泵連接起來，當(dāng)真空泵對(duì)容器進(jìn)行抽空時(shí)，容器上要有真空測量裝置，這就構(gòu)成了一個(gè)z*簡單的真空抽氣系統(tǒng)?！　?br /> 　　
　　z*簡單的真空系統(tǒng)只能在被抽容器內(nèi)獲得低真空范圍內(nèi)的真空度。當(dāng)需要獲得高真空范圍內(nèi)的真空度時(shí)，通常在真空系統(tǒng)中串聯(lián)一個(gè)高真空泵。當(dāng)串聯(lián)一個(gè)高真空泵之后，通常要在高真空泵的入口和出口分別加上閥門，以便高真空泵能單獨(dú)保持真空。如果所串聯(lián)的高真空泵是一個(gè)油擴(kuò)散泵，為了防止大量的油蒸氣返流進(jìn)入被抽容器，通常在油擴(kuò)散泵的入口加一個(gè)捕集器——水冷障板。根據(jù)要求，還可以在管路中加上除塵器、真空繼電器規(guī)頭、真空軟連接管道、真空泵入口放氣閥等等，這樣就構(gòu)成了一個(gè)較完善的高真空系統(tǒng)。