1、電阻真空計
　　利用加熱元件的電阻與溫度有關(guān)，元件的溫度又與氣體傳導(dǎo)有關(guān)的原理，通過電橋電路來測量真空度的真空計。
　　2、麥克勞真空計（壓縮式真空計）
　　將待測的氣體用汞（或油）壓縮到一極小體積，然后比較開管和閉管的液柱差，利用玻義爾定律直接算出氣體壓強的一種絕對真空計。
　　3、B－A規(guī)
　　這是一種陰極與收集極倒置的熱陰極電離規(guī)。收集極是一根細絲，放在柵網(wǎng)中心，燈絲放在柵網(wǎng)外面，因而減少軟X射線影響，延伸測量下限，可測超高真空。
　　4、水環(huán)真空泵
　　泵的葉輪轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生水環(huán)。由于轉(zhuǎn)子偏心旋轉(zhuǎn)而使水環(huán)與葉片間容積發(fā)生周期性改變而進行抽氣的機械真空泵。
　　5、往復(fù)真空泵
　　利用活塞的往復(fù)運動而進行抽氣的機械真空泵。
　　6、油封機械真空泵
　　用油來保持密封的機械真空泵，可分為定片式、旋片式、滑閥式、余擺線式等。
　　7、羅茨真空泵
　　具有一對同步高速旋轉(zhuǎn)的鞋底形轉(zhuǎn)子的機械真空泵，此泵不可以單獨抽氣，前級需配油封、水環(huán)等可直排大氣的真空泵。
　　8、渦輪分子真空泵
　　有一高速旋轉(zhuǎn)的葉輪，當(dāng)氣體分子與高速旋轉(zhuǎn)的渦輪葉片相碰撞時就被驅(qū)向出氣口再由前級泵抽除。
　　9、油擴散真空泵
　　擴散泵噴口中噴出高速蒸汽流。在分子流條件下，氣體分子不斷地向蒸流中擴散，并被蒸汽帶向泵出口處逐級被壓縮后再由前級泵排除。
　　10、低溫真空泵
　　利用20K以下的低溫表面凝聚吸附氣體的真空泵。
　　11、冷阱（水冷擋板）
　　置于真空容器和泵之間，用于吸附氣體或捕集油蒸汽的裝置。
　　12、真空冷凍干燥
　　真空冷凍干燥，也稱升華干燥。其原理是將材料冷凍，使其含有的水份變成冰塊，然后在真空下使冰升華而達到干燥目的。
　　13、真空蒸鍍
　　在真空環(huán)境中，將材料加熱并鍍到基片上稱為真空蒸鍍，或叫真空鍍膜。
　　14、真空干燥
　　利用真空環(huán)境下沸點低的特點來干燥物品的方法。