高速透平真空泵，包括自控柜，主抽真空管路，抽中、低壓真空單元和抽高真空單元，抽中、低壓真空單元，包括高速透平風(fēng)機(jī)和風(fēng)機(jī)驅(qū)動(dòng)電機(jī)；抽高真空單元，包括容積式真空機(jī)和真空機(jī)驅(qū)動(dòng)電機(jī)；主抽真空管路上裝設(shè)有真空壓力傳感器A和B，主抽真空管路通過支管與高速透平風(fēng)機(jī)的入氣口連接，在支管上裝設(shè)有電磁閥C，主抽真空管路通過支管與容積式真空機(jī)的入氣口連接，在支管上裝設(shè)有電磁閥D。本發(fā)明因采用了高速透平風(fēng)機(jī)而且具有其它品種真空泵無法同時(shí)達(dá)到的抽氣速率(150～20000L/S)和真空度 (0.099MPa)，且自動(dòng)化程度高，適應(yīng)當(dāng)前科技高速發(fā)展的需要，可廣泛應(yīng)用于冶金、石油、化工、食品、航空、航天、制藥、制糖、印染、陶瓷、環(huán)保、電子及科研等行業(yè)。