油封式機械真空泵按結(jié)構(gòu)型式可分為定片式、旋片式和滑閥式三種。他們都是利用真空泵油來潤滑、密封和降溫；都是靠轉(zhuǎn)子在泵殼內(nèi)運動使轉(zhuǎn)子、葉片、泵殼之間的容積周期性變化，以達(dá)到抽氣和排氣的目的。


一、定片式真空泵

　　其結(jié)構(gòu)簡單且使用壽命長，檢修容易，雙級泵的極限真空度可達(dá)10–3Torr，但抽速較小，應(yīng)用很少。


二、旋片式真空泵

　　分為單級旋片式真空泵（由定子、旋片、轉(zhuǎn)子等組成，只有一個工作室）和雙級旋片式真空泵（它由兩個工作室組成，兩室前后串聯(lián)，同向等速旋轉(zhuǎn)，Ⅰ室為Ⅱ室的前級）。


三、滑閥式真空泵

　　主要由泵體及內(nèi)部做偏心轉(zhuǎn)動的滑閥部件、半圓形的滑閥導(dǎo)軌、排氣閥、軸等組成。