【康沃真空網(wǎng)】1月29日消息，昨日外媒報(bào)道稱(chēng)，美國(guó)拜登政府在當(dāng)?shù)貢r(shí)間本周五于華盛頓結(jié)束的談判中，已經(jīng)成功與荷蘭和日本達(dá)成協(xié)議，將限制對(duì)華出口先進(jìn)的芯片制造設(shè)備，其中就包括ASML Holding NV、Nikon Corp.和Tokyo Electron Ltd.等廠(chǎng)商的產(chǎn)品。
在外媒報(bào)道發(fā)布之后，當(dāng)?shù)貢r(shí)間周六，ASML對(duì)外回應(yīng)稱(chēng)，據(jù)該公司了解，美日荷政府就半導(dǎo)體制造設(shè)備對(duì)華出口的新限制達(dá)成協(xié)議方面取得了進(jìn)展。
ASML 表示：“據(jù)我們了解，政府之間已采取措施達(dá)成協(xié)議，該協(xié)議將專(zhuān)注于先進(jìn)的芯片制造技術(shù)，包括但不限于先進(jìn)的光刻工具”。
不過(guò)，ASML補(bǔ)充說(shuō)，“在它生效之前，必須詳細(xì)說(shuō)明并實(shí)施到立法中，這需要時(shí)間?！?/p>
根據(jù)ASML先前公布的年度財(cái)報(bào)顯示，中國(guó)大陸市場(chǎng)占該公司2021年?duì)I收的15%左右。那么隨著荷蘭政府跟進(jìn)美國(guó)新規(guī)，ASML的業(yè)務(wù)將受多大影響？
對(duì)此，ASML表示，這些措施預(yù)計(jì)不會(huì)對(duì)其2023年的財(cái)務(wù)預(yù)測(cè)產(chǎn)生重大影響。
根據(jù)此前的分析，預(yù)計(jì)荷蘭將在限制ASML向中國(guó)出口EUV（極紫外光）光刻機(jī)的基礎(chǔ)上，再度限制部分浸沒(méi)式光刻機(jī)（屬于DUV光刻機(jī)）的出口，該設(shè)備對(duì)制造尖端芯片至關(guān)重要。
DUV光刻機(jī)分為248nm和193nm光刻機(jī)兩種類(lèi)型，193nm光刻機(jī)又分為干式和浸沒(méi)式兩種類(lèi)型。此次可能會(huì)禁運(yùn)的是浸沒(méi)式193nm光刻機(jī)，目前全球僅有ASML和尼康兩家公司生產(chǎn)。
目前浸沒(méi)式光刻機(jī)可以被用于16nm至7nm先進(jìn)制程芯片的制造，但是目前也有被業(yè)界廣泛應(yīng)用在45nm及以下的成熟制程當(dāng)中。因此，一旦浸沒(méi)式光刻機(jī)被加入限制，則意味著中國(guó)自45nm及以下成熟制程芯片的生產(chǎn)可能也將受到影響。
不過(guò)，從美國(guó)新規(guī)來(lái)看，主要限制的是16/14nm及以下先進(jìn)制程芯片的制造，因此可能會(huì)限制主要應(yīng)用于先進(jìn)制程的浸沒(méi)式光刻機(jī)的部分型號(hào)的對(duì)華出口，部分主要應(yīng)用于成熟制程的浸沒(méi)式光刻機(jī)型號(hào)的許可申請(qǐng)可能會(huì)開(kāi)放。
據(jù)了解，ASML NXT2000及以上型號(hào)，尼康的NSR635及以上型號(hào)可能都將被列入限制出口范圍。
除了荷蘭ASML和日本尼康這兩大光刻機(jī)廠(chǎng)商會(huì)受影響之外，日本的尼康、東京電子等眾多半導(dǎo)體設(shè)備廠(chǎng)商的相關(guān)設(shè)備的對(duì)華出口預(yù)計(jì)也將受到影響。
值得注意的是，ASML CEO Peter Wennink（彼得·溫寧克） 在25日接受采訪(fǎng)時(shí)表示，美國(guó)主導(dǎo)的針對(duì)中國(guó)的半導(dǎo)體出口管制措施，最終會(huì)促使中國(guó)在高端芯片制造設(shè)備領(lǐng)域成功研發(fā)出自己的技術(shù)。
溫寧克表示，中國(guó)的半導(dǎo)體公司“必須參與全球競(jìng)爭(zhēng)”，所以他們才想購(gòu)買(mǎi)非中國(guó)制造的設(shè)備，“如果無(wú)法得到這些機(jī)器，他們就會(huì)自己研發(fā)。這需要時(shí)間，但最終他們會(huì)實(shí)現(xiàn)目標(biāo)”。溫寧克表示，“中國(guó)的‘物理定律’和這里的一樣，你越給他們施加壓力，他們?cè)接锌赡芗颖杜Α保灾圃炷軌蚺cASML敵的光刻設(shè)備。
在談到美國(guó)出口管制措施的負(fù)面影響時(shí)，溫寧克此前曾表示，美國(guó)去年10月宣布的人員限制措施“給個(gè)人和公司帶來(lái)各種各樣的問(wèn)題”，“這絕對(duì)不是一件值得高興的事情”。他表示，總體而言，出口管制將“造成一定程度的混亂”，“這將影響效率和創(chuàng)新，并影響到我們所有人”。溫寧克還警告稱(chēng)，過(guò)度的管制措施可能導(dǎo)致芯片制造商的成本上升，因?yàn)槊绹?guó)要求從日本到荷蘭的盟友幫助限制中國(guó)獲得關(guān)鍵半導(dǎo)體技術(shù)的機(jī)會(huì)?！靶酒捎眯钥赡軙?huì)減少，可能是由于出口管制走得太遠(yuǎn)，這也意味著我們將擁有效率較低的基礎(chǔ)設(shè)施，成本很可能會(huì)上升?！?/p>
