真空系統是用來獲得真空環境的系統，是半導體、科學儀器、化工、制藥行業重要的子系統，應用廣泛，是真空系統重要的組成部分，是用來產生、改善和維持真空環境的裝置，被廣泛應用于制藥、化工、食品、電子等下游行業，需求量大面廣。一般真空泵應用可根據真空度的不同要求和應用領域分為8個類別，包括粗真空、工藝真空、工業真空、半導體、薄膜沉積（除半導體外）、太陽能、儀器制造以及科學研究。對應的產品也各不相同，高/超真空對應低溫泵、 分子泵、濺射離子泵、鈦升華泵、擴散泵等；中真空主要對應干泵、雙級旋片泵、羅茨泵、油增壓泵、水蒸氣噴射泵；粗/低真空對應單級旋片泵、滑閥泵、液環泵、往復式真空泵。目前半導體領域是真空設備應用規模最大的下游市場，占到整個市場規模的38%。
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一般按照真空泵的工作原理，可以將其分為氣體傳輸泵和氣體捕集泵兩種基本類型。氣體傳輸泵主要是通過不斷地吸入和排除氣體達到抽氣目的，氣 體捕集泵通過使氣體分子被吸附或者凝結在泵的內表面上，從而減小了容器內的氣體分子數目而達到抽氣目的。在工業應用領域比較常見的真空泵包括水環真空泵、旋片真空泵、羅茨真空泵等，但是在高端產品領域進口泵依然更受到市場的歡迎，主要還是由于國產泵在壓縮比方面還是略有劣勢，這主要是因為外國泵用的合金比國內鑄件穩定性高，熱脹冷縮也小，里邊的間隙可以做得更精密。
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二、行業發展概況
近年來國內真空泵行業由于供給側結構性改革以及國內經濟大環境轉變帶來的影響，一些中小型企業逐步退出市場，由于低端供給過多且傳統制造業下游訂單數量減少導致我國真空泵產量快速下滑。2017-2020年我國泵及真空設備產業規模以上企業主營業務收入由2212.39億元下降至1781.4億元，真空泵產量有1070.93萬臺下降至526.64萬臺，其中國內市場需求下降明顯。2020年以來真空泵行業結構轉型趨勢明顯，干式螺桿真空泵的出現替代了大部分油螺桿真空泵，在制藥、醫療器械、半導體行業均有應用。
注：此處產量僅統計規模以上企業。
資料來源：中國通用機械工業協會，華經產業研究院整理
相關報告：華經產業研究院發布的《2021-2026年中國真空泵市場供需現狀及投資戰略研究報告》；
三、市場競爭格局
半導體真空泵目前主要由國外企業主導，國產干式真空泵的應用不足15%，國內半導體工業用的干式真空泵幾乎全部從國外進口。Atlas Copco是半導體真空泵的龍頭企業，其于 2014年收購了 Edward 并進軍半導體真空泵行業，在 2019 年它的真空行業訂單總額增長了9%，半導體真空泵設備在中國的推動下穩步增長。從國內外企業的產品布局來看，Edwards作為真空領域絕對的領先者，產品系列最全，各種結構的真空泵均有布局；Ebara以羅茨泵為主；Kashiyama以羅茨泵和螺桿泵為主。反觀國內，漢鐘精機作為螺桿泵的龍頭，真空泵以螺桿式為主，旋片泵也有所布局；中科儀以渦旋泵和羅茨泵為主；中科科儀以分子泵、旋片泵為主。
四、真空泵進出口情況
目前外資企業在國內真空泵市場上占據了重要地位，而多數國內企業研發創新能力不強，與國外同行相比還存在較大的差距。2015年以來盡管國內真空泵出口數量明顯增長，出口遠超進口數量，但是出口產品單價較低缺乏高端技術產品，出口額僅為進口金額的四分之一。國產設備雖然在價格上有優勢，但從長期來看并非長久生存之策，尤其是在市場競爭激烈的當下，關鍵還是要靠創新技術、改進設計、縮小體積、減輕重量、提高效率、降低能耗等，提高產品的價值。例如，需要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能質量問題，確保直聯泵在高速、高溫下能穩定和運行可靠，同時還要進一步提高國產直聯旋片泵抽除水蒸氣的能力等。以干式螺旋真空泵為代表的產品的國產替代化進程將帶來巨大的市場空間。
資料來源：海關總署，華經產業研究院整理
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