【康沃真空網(wǎng)】半導體產(chǎn)品制造過程中所需的真空系統(tǒng)，需要具備抽除腐蝕性氣體、粉塵顆粒物、有毒氣體等功能，因此油封式機械泵無法滿足半導體產(chǎn)業(yè)的需要。受半導體產(chǎn)業(yè)的驅(qū)動，干式真空泵于上世紀 80 年代出現(xiàn)，受益于下游集成電路、光伏、LED 等行業(yè)的持續(xù)發(fā)展進步，干式真空泵的產(chǎn)品類型不斷增加，性能、控制集成度等指標參數(shù)顯著改善。截至目前，發(fā)達國家的半導體相關產(chǎn)業(yè)已全部使用干式真空泵，我國近年來也呈現(xiàn)明顯的干式真空泵替代油泵的趨勢，國內(nèi)的高端半導體行業(yè)已基本使用干式真空泵。
除半導體產(chǎn)業(yè)以外，制藥、化工、食品行業(yè)對真空泵的需求較大，以往使用油封式機械泵會產(chǎn)生油污染。近年來國家對環(huán)境保護高度重視，由于干式真空泵能夠顯著減少油污染，且使用干式真空泵可實現(xiàn)溶媒回收提高利用率，因此制藥、化工、食品等行業(yè)對干式真空泵產(chǎn)生了大量新增以及替代原有存量油封式機械泵的需求。
1、全球干式真空泵行業(yè)市場規(guī)模
2019年全球干式真空泵市場規(guī)模為60 億美元，預計 2020-2026年干式真空泵市場規(guī)模的年復合增長率為 5.5%。全球干式真空泵市場規(guī)模增長的主要驅(qū)動因素來自于制藥業(yè)，制藥企業(yè)利用干式真空泵在藥品、中間體、原料的制造過程中保持適宜的反應環(huán)境，以及用于不斷增長的新藥研發(fā)活動。亞太地區(qū)是干式真空泵市場增速最快的區(qū)域，主要驅(qū)動因素是持續(xù)增長的半導體和電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展。
?。?）集成電路領域干式真空泵市場規(guī)模
干式真空泵是半導體各制程中必備的通用設備，應用于單晶拉晶、Load-Lock、刻蝕、CVD、原子層沉積（ALD）、封裝、測試等清潔或嚴苛制程。受益于近年來集成電路產(chǎn)業(yè)的穩(wěn)定增長，干式真空泵產(chǎn)業(yè)也保持著持續(xù)穩(wěn)步的發(fā)展態(tài)勢。以 12 英寸晶圓生產(chǎn)線為例，每 3.5 萬片/月產(chǎn)能需要約 2,000 臺真空泵。2019 年全球晶圓在運產(chǎn)能折合 12 英寸約 869 萬片/月，假設存量干式真空泵每年更換 20%（晶圓制造企業(yè)對干式真空泵的折舊年限一般為 5 年），按單臺干式真空泵均價 10 萬元估算，2019 年全球集成電路領域干式真空泵存量替換市場規(guī)模約 100 億元。
?。?）光伏領域干式真空泵市場規(guī)模
干式真空泵是光伏產(chǎn)業(yè)的晶體生長和硅片生產(chǎn)的必備設備。2019 年度中國大陸硅
片產(chǎn)能 173.7GW，晶體生長和硅片生產(chǎn)每 GW 需要約 200 臺干式真空泵。根據(jù)隆基股份、中環(huán)股份、晶澳科技、晶科能源等光伏產(chǎn)品制造商的公告，預計 2020 年-2022 年每年將新增硅片產(chǎn)能約 50GW，亦即每年因新增硅片產(chǎn)能增加干式真空泵市場需求約 7 億元。綜上，預計未來幾年光伏產(chǎn)業(yè)對干式真空泵的市場需求為每年 12-15 億元。
?。?）干式真空泵在其他產(chǎn)業(yè)應用情況
除集成電路和光伏產(chǎn)業(yè)外，干式真空泵作為通用設備，由于其具備良好的潔凈真空特性和可靠性，因而是 LED 產(chǎn)業(yè)的外延片生長和芯片制造、平板顯示產(chǎn)業(yè) PVD 等工藝環(huán)節(jié)真空環(huán)境獲得的主要設備。此外，干式真空泵在鋰電池烘干工序，以及制藥、化工等產(chǎn)業(yè)中均有較為廣泛的應用。
2、干式真空泵行業(yè)發(fā)展面臨的機遇與挑戰(zhàn)
資料來源：普華有策
?。?）行業(yè)發(fā)展面臨的機遇
國家產(chǎn)業(yè)政策大力支持
由于各種電子技術都基于半導體材料來實現(xiàn)，幾乎所有電子產(chǎn)品如 PC、消費電子、通信設備等的核心單元均與半導體有著極為密切的關聯(lián)，因此半導體是電子產(chǎn)品的組成核心，承擔了信息的載體和傳輸功能，是整個信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展基石。
集成電路產(chǎn)業(yè)已成為國民經(jīng)濟中基礎性、關鍵性和戰(zhàn)略性的產(chǎn)業(yè)。近年來，國家在產(chǎn)業(yè)、財稅、金融等方面出臺多項政策支持集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展，包括《新時期促進集成電路產(chǎn)業(yè)和軟件產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的若干政策》、《進一步鼓勵軟件產(chǎn)業(yè)和集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展若干政策》、《關于進一步鼓勵集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展企業(yè)所得稅政策的通知》、《中國制造 2025》、《集成電路產(chǎn)業(yè)研究與開發(fā)專項資金管理暫行辦法》、《國民經(jīng)濟和社會發(fā)展第十三個五年（2016-2020）規(guī)劃綱要》、《“十三五”國家科技創(chuàng)新規(guī)劃》等，為集成電路裝備制造企業(yè)的發(fā)展創(chuàng)造了良好市場與政策環(huán)境的同時，也對產(chǎn)業(yè)發(fā)展制定了目標與規(guī)劃。
下游市場需求快速增長
我國本土集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展雖起步較晚，但近年來發(fā)展迅速，行業(yè)增速領先全球。數(shù)據(jù)顯示，2019 年中國集成電路產(chǎn)業(yè)銷售額達 7,562 億元，占全球集成電路市場銷售額的32.87%，我國已超過美國、歐洲和日本，成為全球最大的集成電路市場。與此同時，物聯(lián)網(wǎng)、大數(shù)據(jù)、人工智能、5G 通信、智能駕駛等新型基礎設施和新型應用領域?qū)砭薮蟮男酒隽啃枨?，為干式真空泵產(chǎn)品提供廣闊的市場空間。
全球半導體產(chǎn)能逐步向我國轉移
經(jīng)歷了 20 世紀 70 年代由美國轉向日本，以及 20 世紀 80 年代轉向韓國和中國臺灣，目前半導體產(chǎn)業(yè)正在經(jīng)歷向中國大陸的第三次轉移。目前，中國擁有全球規(guī)模最大且增長最快的集成電路消費市場。受益于龐大的消費市場以及國家產(chǎn)業(yè)政策的大力支持，國內(nèi)集成電路制造企業(yè)中芯國際、華虹集團、長江存儲，以及臺積電、三星、英特爾等境外企業(yè)均加大在中國大陸的投資以擴張產(chǎn)能。集成電路生產(chǎn)能力的不斷提升，有利于國內(nèi)裝備制造企業(yè)積累研發(fā)及管理經(jīng)驗、降低生產(chǎn)成本以及加快人才培養(yǎng)，促進國內(nèi)裝備制造企業(yè)的快速發(fā)展。
?。?）行業(yè)發(fā)展面臨的挑戰(zhàn)
與國外廠商比綜合競爭力仍存在一定差距
由于我國相關產(chǎn)業(yè)起步較晚，產(chǎn)業(yè)基礎相對薄弱，較之國外行業(yè)領先廠商，國內(nèi)企業(yè)在產(chǎn)品性能、產(chǎn)品種類、研發(fā)投入、業(yè)務規(guī)模、技術積累等多方面仍存在一定差距。
人才儲備相對不足
真空獲得設備、真空儀器設備研發(fā)制造業(yè)對科研人才的要求較高，一方面，產(chǎn)品的研發(fā)、設計、制造需要真空、機械、材料、自動控制、軟件等多學科領域的復合型人才；另一方面，由于產(chǎn)品應用領域廣泛，可用于集成電路、光伏、LED、平板顯示、鋰電池、制藥、化工等行業(yè)，因而要求研發(fā)、設計人員對產(chǎn)品下游應用領域及應用場景有較為深刻的理解和認識。由于我國相關產(chǎn)業(yè)發(fā)展歷程較短，且人才的培養(yǎng)不僅需要扎實的理論學習更要求大量的實踐經(jīng)驗，現(xiàn)有半導體產(chǎn)業(yè)及其設備制造業(yè)的人才難以滿足行業(yè)快速發(fā)展的需要。
