真空設(shè)備設(shè)計(jì)中的注意事項(xiàng)
【康沃真空網(wǎng)】1、根據(jù)設(shè)備的工藝要求，確定真空設(shè)備的總的最大允許漏率，并依據(jù)這一總漏率確定各組成部件的最大允許漏率。
2、根據(jù)設(shè)備的最大允許漏率等指標(biāo)，在設(shè)計(jì)階段就初步確定將要采用的檢漏方法，并將其作為指導(dǎo)調(diào)試 驗(yàn)收的基本原則之一。
3、根據(jù)設(shè)備或部件的最大允許漏率指標(biāo)，決定設(shè)備的密封、連接方式和總體加工精度，以及何種動(dòng)密封形式能夠滿足要求。如，法蘭采用金屬密封或橡膠密封。
4、容器結(jié)構(gòu)強(qiáng)度設(shè)計(jì)時(shí)，考慮如果采用加壓法檢漏被檢件所應(yīng)具有的耐壓能力和結(jié)構(gòu)強(qiáng)度。
5、選擇零部件結(jié)構(gòu)材料時(shí)，考慮是否使用了可能被工作介質(zhì)和示漏氣體腐蝕而導(dǎo)致?lián)p壞的材料。
6、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)時(shí)，在容器或系統(tǒng)上要留有必要的檢漏儀器備用接口，以便在設(shè)備組裝、調(diào)試過程中檢漏使用。尤其是大型、復(fù)雜的管路系統(tǒng)，通常需要采用分段檢漏方法，因此在管路上要設(shè)置分段隔離的閥門，并在每一隔離段上預(yù)留檢漏儀器接口。
7、零件結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)時(shí)，盡量避免采用可能干擾檢漏工作的設(shè)計(jì)方案。例如在真空室內(nèi)螺釘孔不能采用盲孔形式，因?yàn)榘惭b螺釘后螺孔內(nèi)部剩余空間的氣體只能通過螺紋間隙逸出，形成虛漏。
8、與此類似，結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中不允許存在連續(xù)雙面焊縫和多層密封圈結(jié)構(gòu)，因?yàn)檫@會(huì)在中間形成“寄生積”內(nèi)的氣體會(huì)形成虛漏；而當(dāng)內(nèi)、外雙側(cè)焊縫或密封圈同時(shí)泄漏時(shí)，“寄生容積”使示漏氣體穿越雙層焊縫的響應(yīng)時(shí)間過長，無法正常檢漏。
9、焊接結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)時(shí)，盡量減少總裝后無法檢漏的焊縫。
