【康沃真空網(wǎng)】離子刻蝕的源頭可以追溯到早期文明?？v觀地球文明歷史，一些有機化學物質（如檸檬酸和乳酸）經(jīng)常被用來蝕刻金屬。而現(xiàn)代大多數(shù)化學蝕刻方法都涉及堿性蝕刻劑的使用。到了1782年，約翰·塞內比爾（ John Senebier） 發(fā)現(xiàn)了在暴露于光線時某些樹脂會硬化，且會失去對松節(jié)油等化學物質的溶解性，促進了光化學研磨的發(fā)展。
離子束刻蝕的必備環(huán)境無疑就是真空了，真空系統(tǒng)性能如何，將直接影響設備的工作性能。獲得良好的真空環(huán)境的前提要求是要有合理的真空系統(tǒng)理論設計以及準確計算。通過真空設計的計算可解決兩個問題：
其一是根據(jù)該設備極限真空、抽氣時間、工作壓力與產(chǎn)生氣體量，進行主泵類型的選擇、管道確定及真空元件的選擇；其二是計算系統(tǒng)抽氣時間。
1、配泵計算
原則上，要求選配前級泵需要在具備做到主泵工作所需要的預真空環(huán)境，以及在主泵允許的最大排氣壓力的情況之下，可及時排走主泵所排出氣體。
2、壓力與型號
通過的工作壓力要求及不同需求，進行主泵型號的選擇。通常主泵為油擴散泵，而為防止返油污染真空容器，在真空容器和擴散泵間需安裝水冷障板。水冷障板的比流導為4.8L/s·cm，配置手電兩用真空插板閥。
3、有效抽速
確定真空室中保持工作壓力P為1.5x10Pa所需要的有效抽速S=Q/P=415[L/s]（Q為氣體量），但為了更加可靠，常適當增大有效抽速，根據(jù)具體情況增大的情況不同，如果按增大25％進行計算，則設備實際要求的有效抽速是518.75L/s。
4、產(chǎn)生氣體量
設備的氣體量確定主要考慮它的三個來源：真空室表面出氣量、系統(tǒng)的漏氣量以及工作過程中放氣量。其中，工作過程中放氣量是一大主要因素。
此外，離子刻蝕的真空系統(tǒng)還設有儲氣罐于擴散泵出口與三通閥之間，具備縮短工作周期的作用，將擴散泵排出的氣體儲存起來。因為設備在運轉過程中，工件的更換需要在不關閉擴散泵加熱器的條件下，在真空室通入大氣換取工件，裝好工件后，對真空室進行粗抽（預抽）。這段時間內擴散泵的維持工作將通過儲氣罐來完成。
