真空爐真空系統(tǒng)如何操作
【康沃真空網(wǎng)】真空爐真空系統(tǒng)如何操作呢？大家在操作該設(shè)備之前可以先看下如下分享，相信對大家操作真空爐真空系統(tǒng)是有幫助的。
打開前級閥，關(guān)閉主閥和預(yù)抽閥，用按鈕啟動機械泵，當(dāng)?shù)驼婵找?guī)管測量的真空度高于羅茨泵入口真空度時，比如小于2kPa，啟動羅茨泵。
2、預(yù)熱擴散泵
主閥和預(yù)抽閥仍處于關(guān)閉狀態(tài)，前級泵機組對擴散泵抽真空，當(dāng)?shù)驼婵找?guī)管測量擴散泵前級真空度高于規(guī)定值時，比如小于7Pa,啟動擴散泵加熱器。
3、預(yù)抽爐內(nèi)真空
先關(guān)前級閥，并停止羅茨泵，稍后打開預(yù)抽閥對爐內(nèi)抽真空。爐內(nèi)真空度抽到高于羅茨泵入口真空度時，再啟動羅茨泵。前級泵機組對爐內(nèi)抽氣，使之達(dá)到預(yù)抽真空度。
4、抽高真空
爐內(nèi)真空度達(dá)到或高于規(guī)定值，且擴散泵加熱時間到，先關(guān)預(yù)抽閥，然后開高真空閥，對爐內(nèi)抽高真空，直到高真空規(guī)管測得的爐內(nèi)真空度達(dá)到或高于工作真空度，才進(jìn)行下一步操作。真空系統(tǒng)的關(guān)閉步驟相對比較簡單，當(dāng)爐子溫度減低到可關(guān)真空系統(tǒng)的要求時，關(guān)閉主閥，接著關(guān)閉擴散泵加熱器，但前級閥不能關(guān)閉，前級泵機組仍然工作，直到擴散泵加熱器冷卻時間到，才依次關(guān)閉前級閥和前級泵機組。
