滑閥式真空泵，全稱(chēng)滑閥式油封機(jī)械真空泵，簡(jiǎn)稱(chēng)滑閥泵，同旋片泵一樣，是一種變?nèi)莘e式氣體傳輸泵，其應(yīng)用范圍和使用條件也與旋片泵基本相同。
滑閥式真空泵由于其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，容量比旋片式真空泵大得多，因此更多地應(yīng)用與大型真空設(shè)備上。滑閥式真空泵的基本類(lèi)型也分為單級(jí)與雙級(jí)兩種類(lèi)型。其中單級(jí)泵中的小泵極限壓力一般不大于0.6Pa，大泵大不大于1.3Pa（均關(guān)氣鎮(zhèn)）；雙級(jí)泵的極限壓力不大于0.06Pa（關(guān)氣鎮(zhèn)）。抽速大于150L/s的滑閥式真空泵多采用單級(jí)形式。
由于滑閥式真空泵旋轉(zhuǎn)質(zhì)量有較大偏心，沒(méi)有好的質(zhì)量平衡，在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)會(huì)產(chǎn)生較大振動(dòng)。同時(shí)由于滑閥泵的旋轉(zhuǎn)質(zhì)心運(yùn)動(dòng)軌跡是復(fù)雜的封閉曲線，因此很難實(shí)現(xiàn)對(duì)滑閥泵慣性力的完全平衡。這就限制了滑閥式真空泵的轉(zhuǎn)數(shù)，一般控制在350～600r/min，個(gè)別的可達(dá)到1000r/min以上。
二、滑閥式真空泵的工作原理與結(jié)構(gòu)
1、滑閥式真空泵的工作原理
滑閥式真空的主要結(jié)構(gòu)包括泵體、偏心輪、滑閥組件和導(dǎo)軌等，干式螺桿真空泵廠家珂勒曦以圖例的方式為大家展現(xiàn)其簡(jiǎn)易工作原理。
圖一：簡(jiǎn)易滑閥式真空泵工作原理圖
如圖，與泵腔同心的驅(qū)動(dòng)軸帶動(dòng)偏心輪旋轉(zhuǎn)，偏心輪帶動(dòng)滑閥環(huán)運(yùn)動(dòng)，使滑閥桿在導(dǎo)軌上下滑動(dòng)和左右擺動(dòng)?；y將泵腔分成A、B兩個(gè)部分。當(dāng)驅(qū)動(dòng)軸按圖中所示方向轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，A腔容積增加，壓力降低，氣體經(jīng)入口、滑閥桿（A腔一側(cè)開(kāi)口）進(jìn)入A腔，此時(shí)處于吸氣過(guò)程。滑閥繼續(xù)順時(shí)針向左上位置運(yùn)轉(zhuǎn)，A腔容積達(dá)到z*大時(shí)，進(jìn)氣口與A腔隔絕，吸氣過(guò)程結(jié)束，與此同時(shí)，B腔容積處于不斷的減小、壓縮氣體的過(guò)程。當(dāng)B腔氣體壓力達(dá)到排氣壓力時(shí)，推開(kāi)油封的排氣閥，開(kāi)始排氣。當(dāng)滑閥處于正上方的位置時(shí)，排氣結(jié)束（A腔容積也處于z*大），新一輪的循環(huán)過(guò)程開(kāi)始。
2、滑閥式真空泵的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
如圖一所示，滑閥式真空泵的主要結(jié)構(gòu)包括了泵體、偏心輪、滑閥環(huán)、滑桿、導(dǎo)軌等一系列組件。與旋片式真空泵類(lèi)似，滑閥泵也設(shè)有氣鎮(zhèn)閥，氣鎮(zhèn)孔開(kāi)在排氣口附近或端蓋上，以排除含可凝性蒸氣的氣體，并在泵出口設(shè)置有油氣分離器，減少泵油的損耗和對(duì)環(huán)境的污染。
下圖是典型的滑閥式真空泵結(jié)構(gòu)圖。
典型的滑閥式真空泵結(jié)構(gòu)圖
除了單雙級(jí)的區(qū)分外，滑閥式真空泵還有單缸、雙缸、三缸的區(qū)分，其中三缸滑閥泵較好地解決了滑閥的質(zhì)量平衡，使泵的振動(dòng)得到了較好改善，轉(zhuǎn)速也相對(duì)較高。
三、滑閥式真空泵的應(yīng)用要點(diǎn)
滑閥式真空泵與旋片式真空泵一樣可單獨(dú)使用，同時(shí)也可作為擴(kuò)散泵、油增壓泵、羅茨泵等真空泵的前級(jí)泵使用，與旋片泵相比滑閥泵更為耐用，在真空鍍膜、真空熱處理、真空燒結(jié)、分子蒸餾、航空模擬實(shí)驗(yàn)的領(lǐng)域使用較多。但在遇含水蒸氣、粉塵等介質(zhì)環(huán)境，需加裝過(guò)濾裝置，也無(wú)法用于易燃易爆氣體環(huán)境以及壓縮輸送氣體。同時(shí)受限于油封式機(jī)械真空泵的特點(diǎn)，在一些清潔環(huán)境領(lǐng)域，如半導(dǎo)體、石化等，適用性不及一些干式真空泵。
四、滑閥式真空泵噪聲來(lái)源和解決方法
機(jī)械撞擊噪聲是滑閥泵噪聲的主要成分?；y泵在正常運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中，滑閥與泵體內(nèi)壁（進(jìn)氣側(cè)的大、小缸交接處）會(huì)發(fā)生機(jī)械撞擊而產(chǎn)生強(qiáng)烈的機(jī)械撞擊噪聲。影響機(jī)械撞擊噪聲的因素：泵體與滑閥環(huán)之間的間隙、偏心輪與滑閥環(huán)之間的間隙、泵軸心與泵體大缸中心的偏移量等。在設(shè)計(jì)上通常會(huì)調(diào)整撞擊部位的間隙，減輕甚至消滅撞擊，從而降低滑閥泵的機(jī)械撞擊噪聲。
1、液體撞擊噪聲、氣液排放噪聲是泵噪聲的重要成分。
滑閥泵在壓縮過(guò)程中，滑閥帶動(dòng)泵油高速?zèng)_向排氣孔附近的泵缸內(nèi)壁和滑閥桿，產(chǎn)生強(qiáng)烈的液體撞擊噪聲。并且在滑閥泵排氣過(guò)程中由于潤(rùn)滑油和氣體高速通過(guò)排氣流道時(shí)會(huì)產(chǎn)生強(qiáng)烈的氣液排放噪聲。這兩種噪聲在滑閥泵排氣末段時(shí)z*為明顯。要降低這二種噪聲，在設(shè)計(jì)時(shí)可以選擇較低的轉(zhuǎn)速，較小的泵缸內(nèi)徑，以此來(lái)降低液體撞擊時(shí)的速度和氣液排放速度，有利于降低噪聲；在泵正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，減少進(jìn)油量泵，以此來(lái)減少撞擊泵內(nèi)壁的油量和排放的油量，有利于降低噪聲。氣液排放噪聲還可以通過(guò)改進(jìn)排氣閥的流道，盡量增大通道面積，降低潤(rùn)滑油通過(guò)排氣閥時(shí)的速度，有利于降低噪聲。
2、軸承噪聲在滑閥泵噪聲中不常見(jiàn)。
滑閥泵轉(zhuǎn)速較低，軸承潤(rùn)滑充分，軸承正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)發(fā)出的聲音極低。軸承噪聲主要指的是軸承不運(yùn)轉(zhuǎn)正常時(shí)發(fā)出的噪聲。當(dāng)滑閥泵內(nèi)的軸承因加工、運(yùn)輸和安裝過(guò)程中受傷害而存在缺陷，在正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，軸承會(huì)發(fā)出異常的“嗒嗒嗒”的聲音，這種噪聲頻率較低、聲強(qiáng)較弱，但明顯可聞。
3、汽蝕噪聲在滑閥泵噪聲中很少見(jiàn)到。對(duì)于中、大型的滑閥泵而言，泵的轉(zhuǎn)速不宜選取太高，否則容易出現(xiàn)汽蝕現(xiàn)象，降低泵的壽命。
4、油箱也是影響滑閥泵噪聲的一個(gè)因素。
鋼板焊接油箱容易引起振動(dòng)；鑄鐵油箱不易產(chǎn)生振動(dòng)，并且鑄鐵本身有吸聲效果，所以使用鑄鐵油箱可使泵的噪聲低2~3 分貝（A）。油箱內(nèi)置的油氣分離器在不影響排氣壓力的情況下，可適當(dāng)增加阻擋，增強(qiáng)消聲效果，如此也可以使泵的噪聲低1~2分貝（A）。
