真空泵廣泛應(yīng)用于醫(yī)療醫(yī)藥、半導(dǎo)體、機(jī)械化工、低溫設(shè)備、電子、冶金、石油礦山等領(lǐng)域，其相關(guān)技術(shù)也得到了飛躍發(fā)展。在真空泵應(yīng)用過(guò)程中，因生產(chǎn)工藝的不同真空泵會(huì)受到不同程度的腐蝕，若防護(hù)措施不當(dāng)，常會(huì)因真空泵腐蝕而造成停產(chǎn)。因此，真空泵防腐是目前生產(chǎn)中延長(zhǎng)真空泵使用壽命迫切需要解決的實(shí)際問(wèn)題。
2007年開(kāi)始，q*真空泵相關(guān)專利申請(qǐng)數(shù)量開(kāi)始加快增長(zhǎng)，中國(guó)、日本是q*真空泵防腐相關(guān)專利的主要受理國(guó)家，但是國(guó)內(nèi)專利權(quán)未形成明顯的技術(shù)競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)，且專利保護(hù)區(qū)域較局限，在國(guó)外申請(qǐng)了保護(hù)的卻寥寥無(wú)幾。
目前國(guó)內(nèi)真空泵防腐技術(shù)主要針對(duì)的是羅茨真空泵、水環(huán)真空泵、蒸汽真空泵、液環(huán)真空泵、隔膜真空泵、渦輪分子泵等，采用的防腐技術(shù)主要包括三種：
一、通過(guò)在真空泵表面涂覆一層防腐蝕涂層，如三氟氯乙烯防腐層、特氟龍涂層、耐腐蝕的氧化層或氮化層、耐腐蝕耐候油漆等；
二、防腐材料的改進(jìn)，常用的涂層材料有不銹鋼、錫青銅、硬質(zhì)合金等金屬材料，天然橡膠、磷片、人工合成橡膠、陶瓷、塑料等非金屬材料，精密陶瓷、有機(jī)高分子或者耐溫耐腐耐磨高分子材料等新型材料，其中高分子材料有氟塑料、聚乙烯、聚氯乙烯等；
三、對(duì)泵的結(jié)構(gòu)改造，如泵體上部安裝氣室，安裝上置式耐腐蝕氣水分離器。
干式螺桿真空泵雖然國(guó)內(nèi)企業(yè)投入較少，但因其可應(yīng)用于純凈的真空工藝過(guò)程，真空度高，適應(yīng)惡劣工況，可抽取凝性、含顆粒物氣體，且易做防腐處理，浙江珂勒曦動(dòng)力設(shè)備有限公司在螺桿真空泵領(lǐng)域傾入了大量人力物力，其核心螺桿轉(zhuǎn)子技術(shù)不僅讓單級(jí)真空泵突破了0.1帕極限真空，防腐技術(shù)上多層鍍鎳和納米技術(shù)，可以讓真空泵輕松應(yīng)對(duì)鹽酸等高腐蝕介質(zhì)環(huán)境，走在了世界領(lǐng)先行列。
