熱傳導(dǎo)真空計是基于氣體分子熱傳導(dǎo)能力在一定壓力范圍內(nèi)與氣體壓力有關(guān)的原理而制成的。根據(jù)熱絲溫度測量方式的不同，它可分為電阻真空計和熱偶真空計。
我們知道氣體分子一直處于熱運動狀態(tài)，它的密度多少會影響到熱傳導(dǎo)的速率。而熱傳導(dǎo)真空計即是通過熱絲與管殼間的氣體熱傳導(dǎo)，引起熱絲的溫度變化來指示氣體的壓力。它具有結(jié)構(gòu)簡單、易制造易操作、可遠(yuǎn)距離連續(xù)測量全壓力等優(yōu)點，在真空測量中得到廣泛應(yīng)用。
螺桿真空泵廠家開頭提到了熱傳導(dǎo)真空計包括電阻真空計與熱偶真空計。電阻真空計也被稱之為皮拉尼真空計，它是通過熱絲電阻的變化來反映氣體壓力變化。結(jié)構(gòu)上，真空計由金屬或玻璃規(guī)管殼內(nèi)封裝電阻溫度系數(shù)高的電阻絲繞制的圓柱螺旋形熱絲，并用引線從兩端引出規(guī)管，接測量線路。
電阻真空計結(jié)構(gòu)原理圖
熱偶真空計則是借助于熱電偶直接測量熱絲溫度變化：熱絲和熱電偶組成熱偶規(guī)管，熱電偶的熱端與熱絲相連，另一端作為冷端經(jīng)引線引出管外接至測量熱偶電勢的毫伏表。測量中，熱電偶產(chǎn)生的熱電勢就用于表征規(guī)管內(nèi)的壓力。
熱偶真空計結(jié)構(gòu)原理圖
因為是通過熱傳導(dǎo)來實現(xiàn)，所以熱傳導(dǎo)真空計測量易受外界溫度影響，安裝場所要求不易受到輻射或?qū)α鱾鳠幔粺峤z具有一定的熱慣性，壓力變化引起的熱絲溫度變化會有延滯，反應(yīng)相對沒有彈性變形真空計等那么靈敏；同時它屬于相對真空計，測量受氣體種類影響，需要根據(jù)氣體種類以及沾污等因素進(jìn)行校準(zhǔn)。測量范圍上，電阻真空計一般介于104～10-1Pa之間，而熱偶真空計一般在102～10-1Pa之間。
