真空系統(tǒng)中有哪些泵種呢？我們一起來了解一下!
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2017-09-18 閱讀
真空系統(tǒng)是由真空室、真空泵或真空機(jī)組、真空管道、真空閥門、捕集器及其他真空元件、電氣控制系統(tǒng)等組成，廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體業(yè)、光電背光模組、機(jī)械加工等行業(yè)。真空系統(tǒng)往往由幾種真空泵組合而成，根據(jù)各自特性在不同領(lǐng)域發(fā)揮作用。
1、主泵
主泵是用于獲得所需真空度來滿足特定工藝要求的真空泵。根據(jù)真空系統(tǒng)所需的極限壓力不同，主泵的選擇過程中其極限壓力一般比系統(tǒng)所需極限壓力低半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級。
2、粗抽泵
粗抽泵是指從大氣壓下開始抽氣，并將被抽系統(tǒng)壓力降低到主泵系統(tǒng)可以開始工作的真空泵。
粗抽泵所達(dá)到的壓力須小于主泵的啟動(dòng)工作壓力。粗抽泵也可以作為前級泵使用。
3、前級泵
前級泵是維持某一個(gè)泵的前級壓強(qiáng)低于其前級臨界壓強(qiáng)的真空泵。前級泵也可以作為粗抽泵使用，但須滿足預(yù)抽時(shí)間和預(yù)抽的真空度要求。
同時(shí)前級泵要求能達(dá)到主泵工作所需的預(yù)真空條件；在主泵允許的z*大排氣壓力下，前級泵必須將主泵所排出的z*大氣體量及時(shí)排走，前級泵的抽速須按照該泵在實(shí)際入口壓力時(shí)的實(shí)際抽速。
4、維持泵
維持泵是指當(dāng)真空系統(tǒng)中氣量很小時(shí)，不能有效利用前級泵。為此，在真空系統(tǒng)中另配一種抽氣速度較小的輔助泵來維持主泵的正常工作或維持已抽空的系統(tǒng)所需低壓的真空泵。
