在介紹不同氣體可能對(duì)真空測(cè)量產(chǎn)生的影響時(shí)，提到過氧氣、水蒸氣以及油蒸氣z*容易對(duì)真空計(jì)產(chǎn)生影響。這3種常見的氣體會(huì)對(duì)真空計(jì)具體會(huì)造成什么影響呢？下面我們一起來了解一下吧！
一、氧氣對(duì)真空計(jì)的影響
氧氣可以用麥?zhǔn)险婵沼?jì)進(jìn)行測(cè)量，但是當(dāng)氧分壓過高時(shí)，會(huì)使水銀表面發(fā)生氧化，影響水銀的表面張力，使水銀在毛細(xì)管中移動(dòng)時(shí)位置不準(zhǔn)確，造成測(cè)量誤差。
普通熱傳導(dǎo)（電阻）真空計(jì)的燈絲在高溫下會(huì)氧化，從而改變熱絲的表面狀態(tài)，引起規(guī)管零點(diǎn)漂移和靈敏度的改變，應(yīng)采用抗氧化熱絲的規(guī)管。熱陰極電離規(guī)燈絲也極易氧化，使其壽命縮短。
如前文所說，對(duì)氧分壓較高的氣體環(huán)境，在粗低真空范圍內(nèi)可用薄膜真空計(jì)進(jìn)行測(cè)量；高真空時(shí)則可使用輻射真空計(jì)和冷陰極規(guī)管。
二、水蒸氣對(duì)真空計(jì)的影響
水蒸氣是可凝性氣體，壓縮式真空計(jì)測(cè)量時(shí)要壓縮被測(cè)氣體，這會(huì)使水蒸氣凝結(jié)。因此在一般情況下不能使用壓縮式真空計(jì)對(duì)水蒸氣進(jìn)行測(cè)量。它對(duì)熱傳導(dǎo)真空計(jì)的影響與氧氣一樣，同樣會(huì)使規(guī)管零點(diǎn)漂移和靈敏度發(fā)生變化。
通常情況下，對(duì)水蒸氣的測(cè)量可采用U形壓力計(jì)和薄膜規(guī)、輻射真空計(jì)、粘滯規(guī)、克努曾真空計(jì)等；冷陰極規(guī)管不會(huì)發(fā)生氧化問題，也可以用于水蒸氣分壓高的真空系統(tǒng)的測(cè)量。
電阻真空計(jì)和鎢陰極熱陰極電離計(jì)規(guī)管燈絲的材料為鎢，鎢絲溫度較高，高溫?zé)艚z與水蒸氣發(fā)生氧化作用，水蒸氣會(huì)被高溫鎢表面分解并與鎢反應(yīng)生成氧化鎢和原子態(tài)氫，氧化鎢蒸發(fā)后便附著在規(guī)管玻壁上。原子態(tài)氫則從管壁上的氧化鎢中奪取氧再變成水蒸氣。這樣循環(huán)下去，水蒸氣就起著運(yùn)輸鎢的作用。致使鎢陰極不斷的蒸發(fā)，使燈絲迅速損壞。特別是水蒸氣分壓大于10-2Pa時(shí)，規(guī)管的壽命很短，因此不適合用于測(cè)量水蒸氣。
三、油蒸氣對(duì)真空計(jì)的影響
在采用有油的抽氣系統(tǒng)（機(jī)械泵、油擴(kuò)散泵）抽氣時(shí)，系統(tǒng)中存在大量的有機(jī)油蒸氣及其分裂物。它們的蒸氣壓都比較低，因此不能用壓縮式真空計(jì)進(jìn)行測(cè)量。如用壓縮式真空計(jì)測(cè)量機(jī)械泵的極限真空度時(shí)，要比用熱傳導(dǎo)真空計(jì)測(cè)得的數(shù)據(jù)高一個(gè)數(shù)量級(jí)。用油U型壓力計(jì)測(cè)量油蒸氣時(shí)，因工作油可以溶解油蒸氣，所以也不能得到正確的指示。
用熱傳導(dǎo)真空計(jì)或電離真空計(jì)測(cè)量油蒸氣時(shí)，會(huì)因油蒸氣污染燈絲或在高溫陰極上分解生成碳?xì)浠衔?，?yán)重的污染電極和管壁，使熱傳導(dǎo)情況改變，而使規(guī)管的靈敏度和特性發(fā)生明顯的變化，造成測(cè)量誤差。
因此，在油蒸汽分壓高的系統(tǒng)中，低真空時(shí)建議用薄膜真空計(jì)測(cè)量；高真空時(shí)則可使用輻射真空計(jì)進(jìn)行測(cè)量。
