真空系統(tǒng)用何種真空泵，s*先應(yīng)根據(jù)系統(tǒng)的要求，其次應(yīng)對(duì)該泵性能特點(diǎn)有詳細(xì)了解，比較了各種泵的優(yōu)缺點(diǎn)后，再?zèng)Q定之，這樣才能選用得適當(dāng)。為便于選擇所要使用的真空泵，現(xiàn)將我國(guó)生產(chǎn)的各種類(lèi)型真空泵總的情況歸納總結(jié)一下,簡(jiǎn)略比較它們的特性和優(yōu)缺點(diǎn)，看來(lái)是必要的。
一、油封機(jī)械泵
現(xiàn)生產(chǎn)的2X型旋片泵均為雙級(jí)，抽速為0.5~150升/秒，有全系列的產(chǎn)品。
滑閥泵分單級(jí)(H型)、雙級(jí)(2H型)。抽速:H型為8~600升/秒;2H型為8~70升/秒。亦有成系列生產(chǎn)的產(chǎn)品。
余擺線式泵抽速可很大，體積小，目前正在試生產(chǎn)。
這類(lèi)泵均用作獲得低真空，或作高真空泵的前級(jí)泵和預(yù)抽泵。帶有氣鎮(zhèn)裝置的可抽除潮濕空氣。但極限真空比抽干燥空氣(不用氣鎮(zhèn)時(shí))低一個(gè)數(shù)量級(jí)。泵的抽速系指進(jìn)口壓強(qiáng)在760托時(shí)之抽速，當(dāng)系統(tǒng)壓強(qiáng)下降時(shí)抽速亦下降，直至接近該泵的極限真空，抽速亦接近于零。其抽降系數(shù)有一定規(guī)定。
二、機(jī)械增壓泵(羅茨泵)
工作壓強(qiáng)范圍10~5x10-4 托，常用范圍2~5x10-3 托，抽速范圍150~2000升/秒，我國(guó)已有成系列產(chǎn)品。這種泵z*大抽速在2托~1 0-2 托之間，需要前級(jí)泵，不能直接向大氣排氣。極限真空隨前級(jí)泵變化。與油增壓泵相比，工作壓強(qiáng)范圍較寬，z*大排氣壓強(qiáng)較高(機(jī)械增壓泵10~30托，油增壓泵1~2托)，返流油蒸氣很少，用它抽除含有水蒸氣等可凝性氣體時(shí)較合適。
三、油增壓泵
工作壓強(qiáng)范圍1~1x10-4 托，常用范圍在0.1~1x10-2托，抽速范圍200~40000升/秒，彌補(bǔ)了機(jī)械泵、擴(kuò)散泵在此壓強(qiáng)范圍內(nèi)抽速小的缺陷。對(duì)惰性氣體與其他氣體有相同的抽速。
四、油擴(kuò)散泵
普通油擴(kuò)散泵的工作壓強(qiáng)范圍10-2~5x10-7托，常用范圍10-8~5x10-6托，抽速范圍20~100000升/秒，金屬、玻璃結(jié)構(gòu)的擴(kuò)散泵均成系列生產(chǎn)。超高真空油擴(kuò)散泵極限壓強(qiáng)約為10-10托，除結(jié)構(gòu)與普通油擴(kuò)散泵略有一點(diǎn)差異外，主要是工作液不同，結(jié)構(gòu)材料不同，即用275硅油等作泵液，結(jié)構(gòu)材料用不銹鋼。新設(shè)計(jì)的超高真空泵差異就較大了。
