通常我們所說的微型真空泵是薄膜（隔膜）泵的一種，分為水泵和氣泵兩類，人們常常稱為微型水泵、微型氣泵。用于采樣時(shí)還稱為采樣泵。它是使用電機(jī)、壓電等動(dòng)力帶動(dòng)薄膜高速振動(dòng)來泵送流體。在很多場(chǎng)合我們需要較為精確地調(diào)節(jié)微型真空泵的流量，常常采用以下兩種方法。
一、降低泵的工作電壓，常用于有刷電機(jī)。
微型泵的電源s*先要有穩(wěn)壓功能，功率要足夠，保證在泵額定工況下電壓穩(wěn)定。降低泵的輸入電壓后，電機(jī)轉(zhuǎn)速、流量也隨之降低，而且比較接近線性關(guān)系。泵降壓運(yùn)行附帶的好處是有利于延緩電機(jī)電刷的磨損、延長(zhǎng)電機(jī)的壽命。但是要特別注意降壓后泵能否正常運(yùn)轉(zhuǎn)。如果泵入口處真空度較高、下游管路阻力較大、泵的負(fù)載較大時(shí)，降壓后容易造成電機(jī)無法啟動(dòng)，使電機(jī)溫度上升，甚至燒毀，產(chǎn)生安全隱患。一般用降壓來調(diào)節(jié)流量只適合于負(fù)載不大的場(chǎng)合，小幅度地調(diào)節(jié)流量。微型真空泵額定的流量是在規(guī)定的上下游阻力條件下測(cè)得的。用戶的實(shí)際使用條件各不相同，需要經(jīng)過試驗(yàn)確定允許的降壓、調(diào)節(jié)流量范圍。如果用戶使用中，管路阻力、泵的負(fù)載經(jīng)常變化，用降壓來調(diào)節(jié)流量容易出現(xiàn)電機(jī)工作乏力甚至無法運(yùn)轉(zhuǎn)，不便于控制。
二、在管路中調(diào)節(jié)。
在泵上游安裝流量調(diào)節(jié)閥，或者下游安裝旁路閥。這種辦法流量調(diào)節(jié)的范圍較大，缺點(diǎn)是增加了能量損失，增大了噪音，微型閥門需要手動(dòng)調(diào)節(jié)，不便于自動(dòng)控制。
微型薄膜泵是利用曲柄把電機(jī)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為薄膜的振動(dòng)，由于機(jī)構(gòu)的原理，不可避免地存在壓力和流量的波動(dòng)。在流量-時(shí)間曲線上，泵的瞬時(shí)流量以類似正弦曲線的波形變化。每分鐘泵的瞬時(shí)流量疊加后稱為平均流量。理論上的平均流量與泵腔和薄膜的大小、薄膜振幅、每分鐘電機(jī)轉(zhuǎn)速有關(guān)。實(shí)際使用中由于單向閥和其它部位可能存在泄漏、輸送的流體具有壓縮性、液體中溶解和蒸發(fā)的氣體都會(huì)使泵的實(shí)際平均流量低于理論平均流量。微型薄膜泵的流量-轉(zhuǎn)速曲線具有體積泵的特征，在外部阻力不變的情況下，流量基本與泵的轉(zhuǎn)速成正比。當(dāng)微型薄膜泵的排水流量增大時(shí)，其揚(yáng)程（出口壓力）會(huì)近似線性地下降。
