真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。
高溫的原因：風扇轉(zhuǎn)速低，風壓，風量小。電機功率大，工作電流大，發(fā)熱量大。風扇葉片數(shù)較少，產(chǎn)生的風量小。真空泵電機所在母線電壓380V，由于電纜壓降及負荷分配不均，電機實際所加電壓只有365V，電壓偏低造成運行電流大。電動機附有灰塵、油污，降低了散熱能力。
解決方法：電機功率、轉(zhuǎn)速是和真空泵 相匹配的，不能更改。風扇安裝于電機主軸上，電機轉(zhuǎn)速決定了風扇轉(zhuǎn)速，也不可更換。增加風扇葉片數(shù)量雖能起到一定作用，但葉片數(shù)量增加后，動平衡不容易找，如找正不好，會引起電機振動增加。將原風扇罩加長40cm，在里面加裝一個與風扇罩同直徑軸流風機，軸流風機電機功率850W，轉(zhuǎn)速1489r/min，電壓380V。原風扇繼續(xù)保留。軸流風機服裝學校另設一路電源控制，軸流風機與主電機不設連鎖。真空泵啟動后及時啟動軸流風機運行，真空泵停運后30min停運軸流風機，以使主電機得到充分冷卻；定期清除電機上灰塵，保持電機散熱片清潔，增加其散熱能力；將真空泵所在母線電壓調(diào)整為400V。
為了停泵時防止真空泵油返到被抽容器，內(nèi)置停泵防返油裝置就十分重要。防止停泵返油通?？繗饴泛陀吐返慕Y(jié)合來實現(xiàn)，常用的方法有：
在進氣通道上設置停泵防返油裝置。
在油路上設有停泵控制防返油裝置。
真空泵防返油閥原理：可靠的進氣口防返油裝置，雙重保護，不返油，保證了真空系統(tǒng)安全。
保護一：停泵時隔離閥關閉真空系統(tǒng);
保護二：停泵時關閉油路并向泵腔充氣。
真空泵運行期間，控制活塞在油壓作用下頂著彈簧保持密封。防倒吸閥的閥盤由于自重保持在較低位置(閥門開啟)。泵停機后，油壓下降，彈簧將控制活塞向上頂。這樣就在油箱與防倒吸閥的活塞之間形成了一個通路。以上為真空泵防返油閥原理的介紹，對比用彈簧來控制防返閥的真空泵，萊寶真空泵防返油效果更好，故障率較低，維修更加簡單。
