1、抽氣體選擇相應的泵，如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。
2、真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響，若工藝過程不允許，應選擇無振動的泵或各種真空泵采取防振動措施。
3、真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。 【康沃真空網】
4、真空設備對油污染的要求，若設備嚴格要求無油時，應該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等，如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。
5、正確地選擇真空泵的工作點，每種泵都有一定的工作壓強范圍，如：2BV系列水環(huán)真空泵工作壓強范圍760mmHg~25mmHg（絕壓），在這樣寬壓強范圍內，泵的抽速隨壓強而變化（詳細變化情況參照泵的性能曲線），其穩(wěn)定的工作壓強范圍為760~60mmHg，因而，泵的工作點應該選在這個范圍之內較為適宜，而不能讓它在25~30mmHg下長期工作。
6、真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何，如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。
7、真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求，如：某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度，選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg，z*好能達到1mmHg，通常選擇泵的極限真空度要高于真空設備工作真空度半個到一個數(shù)量級。
8、真空泵的價格、運轉及維修費用。
9、補充才能滿足抽氣要求，如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度，另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空，有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。
