真空泵機械雖然工作效率高，使用壽命長，但日常的維護與操作必須科學(xué)化，規(guī)范化，這樣才能有效地使用真空設(shè)備。
一、機械真空泵的維護和保養(yǎng)：
1.泵及其四周環(huán)境應(yīng)經(jīng)常保持清潔。
2.泵在運轉(zhuǎn)過程中應(yīng)保持油箱內(nèi)油量不得低于油標(biāo)中心。
3.不同種類和牌號的真空泵油不可混合使用。
4.泵在使用中溫升不能超過70℃。
5.新泵在使用100 h左右應(yīng)換1～2次油，待換下的油內(nèi)不再發(fā)現(xiàn)含黑色金屬粉末后，可加長換油期限。根據(jù)說明書規(guī)定和使用實際情況來確定換油期限。
6.新泵和修理后的泵應(yīng)現(xiàn)作運轉(zhuǎn)試驗4～6 h，檢查泵是否符合使用要求。
7.泵使用較長時間以后（2～3年不等），極限真空度下降，應(yīng)進行一次檢修。同時也應(yīng)對系統(tǒng)、管道、閥門和電動機等加以清洗、檢修。
8.泵在使用中，因系統(tǒng)損壞等特殊事故，或進氣口突然暴露大氣時，應(yīng)盡快停泵，并切斷與系統(tǒng)連接的真空管道（關(guān)低真空閥或夾真空夾），防止噴油，污染工作場地。
9.泵上所有機件，非絕對必要，切勿自行拆卸。 泵不用時，應(yīng)用橡皮塞（帽）把進氣口塞好，以免贓物和硬質(zhì)東西落入泵內(nèi)。
10.經(jīng)常注意真空技術(shù)發(fā)展動向，盡量及早地引入新技術(shù)、新材料（如新泵油等），以改進原有系統(tǒng)的性能。
二、整套真空泵機組設(shè)備的日常維護：
1.操作人員要熟悉各種儀表、泵，設(shè)備的各部分。閱讀并理解各種說明書。
2.冷卻水水壓應(yīng)保持0.1～0.2 Mpa之間，出水溫度≤45℃。壓縮空氣壓力在0.4～0.5 Mpa之間。
3.每爐開機前，要檢查保護氣的氣瓶容量，以免氣體充不足，更換氣瓶。開機后如有異常情況，應(yīng)立即排除或停機查找原因。
4.經(jīng)常檢查各部分的回水量，工作時應(yīng)保證各部分有充足的冷卻水。設(shè)備停止使用時，應(yīng)將爐內(nèi)氣體抽空，長時間不用，要充入保護性氣體，并把設(shè)備水冷套內(nèi)的循環(huán)水放掉。
5.機械泵、羅茨泵應(yīng)定期換油加油，羅茨泵的油杯中要保持一直有油。換油時一定要把廢油放干凈。
6.擴散泵換油時，內(nèi)部如有氧化，要把擴散泵內(nèi)部的氧化層處理干凈，然后再換上新油。
7.充入的保護性氣體，純度不應(yīng)小于99.99%。本設(shè)備不允許使用易燃易爆和具有腐蝕性氣體作為保護氣氛。
8.設(shè)備表面及儀表表面要保持清潔，擦拭爐體內(nèi)壁不允許有帶有水份及沾有非真空類用油的抹布擦拭。
9.氣動系統(tǒng)的氣動三連件上的油水分離器要經(jīng)常放水，油霧器內(nèi)應(yīng)注入真空擴散泵油。
10.設(shè)備的整機電壓要保證在350～420 V范圍內(nèi)。三相要平衡。
11.規(guī)管、電接點壓力表、熱偶等處要經(jīng)常涂上擴散泵油，使之與座之間形成一層油膜，防止漏氣。以上各部分及法蘭連接處不允許長期使用真空封泥密封。
12.各部分的螺栓定期檢查，如發(fā)現(xiàn)松動，及時擰緊。設(shè)備工作時，注意觀察各儀表的顯示情況，及各泵的聲音，以便及時發(fā)現(xiàn)異常，找出問題。
13.設(shè)備的使用環(huán)境，在相對濕度85%以下，溫度在10～40℃。在拆修設(shè)備時，各部分不許用重錘敲擊，密封面、密封槽不許劃傷。
14.設(shè)備在工作時，操作人員不得長時間離崗。
科學(xué)的規(guī)范的操作于維護不但可以提高真空泵和真空泵機組的工作效率，更能延長其使用壽命，降耗節(jié)能。
