離子源真空項目獲工業(yè)科技一等獎
由北京丹普表面技術有限公司與廣州有色金屬研究院聯(lián)合申報的“離子源復合真空鍍膜成套裝備、工藝及應用”項目，榮獲2014年度中國有色金屬工業(yè)科學技術獎一等獎。
2014年9月2日，中國有色金屬工業(yè)協(xié)會在廣州主持召開了科技成果鑒定會，對廣州有色金屬研究院、北京丹普表面技術有限公司聯(lián)合完成的“離子源復合真空鍍膜成套裝備、工藝及應用”項目成果進行鑒定。與會專家聽取了項目匯報，審閱了鑒定資料，經過質詢和討論，形成如下鑒定意見：
1. 提供的鑒定資料齊全，數(shù)據(jù)詳實，符合科技成果鑒定要求;
2. 通過研究陽極層氣體離子源、非平衡磁控濺射和陰極電弧等技術，設計并開發(fā)出全自動控制多功能離子鍍膜系列裝備。該裝備具有適用面寬、沉積面積大、工藝穩(wěn)定、重復性好等優(yōu)點;
3. 研究陽極層氣體離子源結合非平衡磁控濺射復合鍍膜技術，制備出可精確控制層間界面、摻雜成分及微觀結構的多層多相多尺度類金剛石復合膜。該薄膜具有優(yōu)異的綜合性能：硬度大于20GPa(z*高可達35.5GPa)，厚度可調(z*高可達6um)，膜基結合力大于50N(z*高可達100N)，摩擦系數(shù)小于0.2(z*低可達0.05)。
4. 研制的成套裝備及工藝技術已實現(xiàn)產業(yè)化，經國內外用戶使用，反應良好，產生了顯著的經濟和社會效益。
綜上所述，該成果的裝備及工藝技術達到國際先進水平。鑒定委員會一致同意該項目通過科技成果鑒定。
