抽氣的真空系統(tǒng)，一般應(yīng)對任何嚴(yán)重的外部故障或危及真空系統(tǒng)整體的故障作出反應(yīng)，當(dāng)故障發(fā)生后，應(yīng)立即關(guān)閉所有的閥門而使所有正常工作的泵繼續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。當(dāng)任何機(jī)械真空泵發(fā)生驅(qū)動(dòng)故障或放入大氣的時(shí)候，都應(yīng)立即斷電停泵。后一種情況是由于真空泵的電機(jī)容量通常不適于對大氣的長時(shí)間抽氣，否則可能使電機(jī)和泵都過熱。擴(kuò)散泵即使沒連通到前級泵也能繼續(xù)運(yùn)行一段較長的時(shí)間，然而，如果在擴(kuò)散泵工作區(qū)域內(nèi)。渦輪分子泵在長時(shí)間大抽氣量情況下，過熱的可能性很大?，F(xiàn)代真空泵對這類問題一般都應(yīng)設(shè)置適當(dāng)?shù)谋Ｗo(hù)措施。在機(jī)械真空泵的入口管路上應(yīng)當(dāng)設(shè)置電磁放氣閥，當(dāng)機(jī)械真空泵停泵時(shí)，放氣閥應(yīng)關(guān)閉機(jī)械泵和擴(kuò)散泵之間的管路并向機(jī)械真空泵泵腔內(nèi)充大氣，否則機(jī)械泵內(nèi)的油會(huì)因壓差作用而遷移進(jìn)入擴(kuò)散泵中，當(dāng)擴(kuò)散泵加熱器工作時(shí)機(jī)械泵油就會(huì)分解，污染擴(kuò)散泵泵壁及系統(tǒng)。擴(kuò)散泵應(yīng)設(shè)置冷卻水水壓或流量繼電器，并與電氣系統(tǒng)連鎖控制。
1.氣泵除電機(jī)轉(zhuǎn)子兩只軸承外，其它部位沒有直接接觸摩擦。本氣泵軸承安裝方式主要分二類。第一類氣泵端的軸承安裝在電機(jī)機(jī)座和葉輪中間的泵體內(nèi)，這類氣泵平時(shí)不需要加潤滑脂。第二類氣泵端的軸承是安裝在泵蓋中間，此類氣泵端的軸承應(yīng)定期加潤滑脂。每月一次，對于三班連續(xù)工作的氣泵應(yīng)當(dāng)增加加油次數(shù)。此類氣泵電機(jī)風(fēng)扇端的軸承維護(hù)保養(yǎng)按第一類氣泵。
2.進(jìn)出氣兩端的過濾網(wǎng)和消音器應(yīng)根據(jù)情況適時(shí)清洗，以免堵塞影響使用。
3.進(jìn)出氣口外聯(lián)接必須采用軟管聯(lián)接。
4.軸承的更換：更換軸承必須由熟悉修理工作的人進(jìn)行操作。先擰松泵蓋上的螺釘，然后按圖示順序。
5.逐一拆卸零件，拆下的零件應(yīng)經(jīng)過清洗，然后按反順序裝配。拆卸時(shí)，不能硬撬葉輪。
