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中科院超高真空氣體等離子機(jī)招標(biāo)
標(biāo)簽: 中科院離子機(jī)
2014-10-13  閱讀

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基本信息

招標(biāo)編號(hào):201300157783

加入日期:2014.10.13

招標(biāo)業(yè)主:中國(guó)科學(xué)院

地 區(qū):廣東省 深圳市

關(guān)鍵詞:離子注入機(jī)

招標(biāo)公告正文

( 超高真空氣體等離子注入機(jī) )需求公示
項(xiàng)目名稱 超高真空氣體等離子注入機(jī)  是否預(yù)選項(xiàng)目 否 
采購人名稱 深圳先進(jìn)技術(shù)研究院  采購方式 公開招標(biāo) 
財(cái)政預(yù)算限額(元) 1000000 
項(xiàng)目背景 設(shè)備主要可用于清洗、活化、刻蝕、離子注入和改良醫(yī)療、生物等友好材料包括醫(yī)用聚合物或者金屬合金。通過有效的配置來產(chǎn)生等離子體與靈活可調(diào)整的內(nèi)部空間結(jié)構(gòu)來對(duì)材料表面進(jìn)行高能離子轟擊和結(jié)構(gòu)改造,主要研究旨在改良醫(yī)用生物聚合物的生物兼容性和生物活性。  
投標(biāo)人資質(zhì)要求 1)具有獨(dú)立法人資格; 
2)本項(xiàng)目不接受聯(lián)合體投標(biāo),不允許分包,(不接受投標(biāo)人選用進(jìn)口產(chǎn)品參與投標(biāo))。 
3)近三年內(nèi)(即至少從_2011_年_1_月開始起算,供應(yīng)商成立不足三年的可從成立之日起算)無行賄犯罪記錄,由供應(yīng)商營(yíng)業(yè)執(zhí)照住所地人民檢察院出具《行賄犯罪檔案查詢告知函》。告知函自出具之日起2個(gè)月內(nèi)有效,有效期到期日應(yīng)在本項(xiàng)目公告日之后。投標(biāo)人須在投標(biāo)文件中提供《行賄犯罪檔案查詢告知函》掃描件,原件備查。 
貨物清單 序號(hào) 采購計(jì)劃編號(hào) 貨物名稱 數(shù)量 單位 備注 財(cái)政預(yù)算限額(元)
1 201300157783  超高真空氣體等離子注入機(jī)  1.0  套  1000000.0 
 1 設(shè)備名稱:
氣體等離子體注入設(shè)備
2 數(shù)量:
1套
3 設(shè)備用途說明:
設(shè)備主要可用于清洗、活化、刻蝕、離子注入和改良醫(yī)療、生物等友好材料包括醫(yī)用聚合物或者金屬合金。通過有效的配置來產(chǎn)生等離子體與靈活可調(diào)整的內(nèi)部空間結(jié)構(gòu)來對(duì)材料表面進(jìn)行高能離子轟擊和結(jié)構(gòu)改造,主要研究旨在改良醫(yī)用生物聚合物的生物兼容性和生物活性。
4 技術(shù)要求及參數(shù):(包括提供技術(shù)文件或圖紙、設(shè)備工作條件及環(huán)境要求)
詳細(xì)見:技術(shù)性能指標(biāo)表。
加“*”條款為必須滿足的條款,不得偏離。
5 配置清單及零配件(包括專用工具):
序號(hào) 名稱 單位 數(shù)量
1 真空室 1
2 真空抽氣系統(tǒng) 1
3 真空測(cè)量系統(tǒng) 1
4 供氣系統(tǒng) 1
5 高壓靶臺(tái)及傳動(dòng)系統(tǒng) 1
6 發(fā)散式氣體離子源 臺(tái) 1
7 射頻電感耦合輝光放電等離子體系統(tǒng) 1
8 高壓脈沖調(diào)制電源 臺(tái) 1
9 系統(tǒng)操作和控制 1
6 技術(shù)服務(wù)條款:
售后服務(wù)要求:
1)   投標(biāo)方需為本項(xiàng)目配備足夠的售后服務(wù)力量,請(qǐng)說明技術(shù)支持的網(wǎng)點(diǎn)和資質(zhì),技術(shù)支持人員數(shù)量及素質(zhì)。
2)   投標(biāo)方售后服務(wù)響應(yīng)時(shí)間:電話響應(yīng)時(shí)間要求4小時(shí)內(nèi),到場(chǎng)響應(yīng)時(shí)間要求2個(gè)工作日內(nèi)(指從接到報(bào)障至到達(dá)故障現(xiàn)場(chǎng)的時(shí)間)。
3)   投標(biāo)方免費(fèi)提供技術(shù)支持熱線電話。
4)   投標(biāo)方免費(fèi)提供email技術(shù)支持,并且在24小時(shí)內(nèi)回復(fù)。
5)   投標(biāo)方提供儀器設(shè)備的免費(fèi)保修期至少一年(保修期內(nèi)免費(fèi)維修并更換除消耗品以外的零部件,維修人員的路費(fèi)、食宿等自理)。
6)   投標(biāo)方提供該設(shè)備的技術(shù)使用說明書及外購配件儀器說明書,并指導(dǎo)在使用該設(shè)備時(shí)的操作注意事項(xiàng)等。
7)   用戶現(xiàn)場(chǎng)免費(fèi)安裝,調(diào)試,培訓(xùn)。
培訓(xùn)要求:
1)   為保證投標(biāo)方所提供的儀器設(shè)備安全、可靠運(yùn)行,便于招標(biāo)方的運(yùn)行維護(hù),必須對(duì)招標(biāo)方培訓(xùn)合格的維護(hù)和管理人員。
2)   投標(biāo)方負(fù)責(zé)對(duì)招標(biāo)方提供至少一次現(xiàn)場(chǎng)技術(shù)培訓(xùn),以便工作人員在培訓(xùn)后能熟練地掌握系統(tǒng)的維護(hù)工作,并能及時(shí)排除大部分的系統(tǒng)障礙。
7 包裝要求:
應(yīng)使用嶄新堅(jiān)固之包裝(標(biāo)準(zhǔn)包裝),適合于空運(yùn)、或陸運(yùn)等長(zhǎng)途運(yùn)輸方式;適合氣候變化;投標(biāo)商應(yīng)對(duì)任何由于不當(dāng)包裝或防護(hù)措施不利而導(dǎo)致的商品損壞、損失、費(fèi)用增長(zhǎng)等后果負(fù)責(zé)。
8 交貨日期:
合同簽訂后的六個(gè)月內(nèi)交貨
9   到貨口岸及交貨地點(diǎn):
深圳口岸/中國(guó)科學(xué)院深圳先進(jìn)技術(shù)研究院
10 驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn):
1)   儀器設(shè)備運(yùn)抵安裝現(xiàn)場(chǎng)后,買方將與賣方共同開箱驗(yàn)收, 如賣方屆時(shí)不派人來, 則驗(yàn)收結(jié)果應(yīng)以買方的驗(yàn)收?qǐng)?bào)告為z*終驗(yàn)收結(jié)果。驗(yàn)收時(shí)發(fā)現(xiàn)短缺、破損, 買方有權(quán)要求賣方負(fù)責(zé)更換。
2)   賣方應(yīng)提出儀器設(shè)備測(cè)試的內(nèi)容、項(xiàng)目、指標(biāo)和方法,賣方有責(zé)任對(duì)買方的技術(shù)人員提出的問題作出解答。測(cè)試應(yīng)進(jìn)行詳細(xì)記錄, 儀器設(shè)備測(cè)試結(jié)束后, 由賣方技術(shù)人員簽字后交給買方驗(yàn)收。
3)   保修期自z*終安裝驗(yàn)收合格后開始,保修期內(nèi)賣方要保修除消耗品以外的所有部件。在保修期內(nèi),如果儀器設(shè)備發(fā)生故障,賣方要調(diào)查故障原因并修復(fù)直至滿足z*終驗(yàn)收指標(biāo)和性能的要求,或者更換整個(gè)或部分有缺陷的材料。以上都應(yīng)是免費(fèi)的。
11 其它
對(duì)儀器設(shè)備生產(chǎn)廠家要求:
1)   廠家應(yīng)具備一定規(guī)模的科研、生產(chǎn)、技術(shù)支持及售后服務(wù)能力。
2)   廠家在廣東省內(nèi)設(shè)有技術(shù)支持中心及維修中心 。
附:技術(shù)性能指標(biāo)表
編號(hào) 招標(biāo)技術(shù)指標(biāo)名稱 招標(biāo)技術(shù)指標(biāo)值
1 應(yīng)用范圍和要求 等離子體注入設(shè)備主要可用于清洗、活化、刻蝕、離子注入和改良醫(yī)療、生物等友好材料包括醫(yī)用聚合物或者金屬合金。通過有效的配置來產(chǎn)生等離子體與靈活可調(diào)整的內(nèi)部空間結(jié)構(gòu)來對(duì)材料表面進(jìn)行高能離子轟擊和結(jié)構(gòu)改造,主要研究旨在改良醫(yī)用生物聚合物的生物兼容性和生物活性。
2 性能指標(biāo) 一、  真空室:
1.     以不銹鋼304為材料制造,雙層水冷,電拋光處理
2.     真空室尺寸:~F500 mm ´500mm
3.     方形真空室門位于真空室側(cè)面
4.     1個(gè)CF100觀察口位于真空室門上裝有強(qiáng)化玻璃和擋板
5.     1個(gè)~F200mm抽氣口用于連接節(jié)流閥和分子
6.     1個(gè)KF40抽氣口用于連接預(yù)抽閥
7.     2個(gè)KF20真空測(cè)量口用于裝配熱偶規(guī)和離子規(guī)
8.     多個(gè)窗口位于真空室頂部裝有石英玻璃用于配和射頻天線作電感耦合放電
9.     1個(gè)連接口用于安裝發(fā)散式氣體離子源
10.  1個(gè)連接口位于真空室底部用于高壓樣品臺(tái)電極引入
11.  1個(gè)連接口用于反應(yīng)氣體引入
12.  1個(gè)充氣口
13.  多個(gè)備用連接口位于真空室側(cè)壁
14.  無用的接口將會(huì)用蒙板遮蓋
15.  真空室以噴素鋼鐵作為支架,臺(tái)面以不銹鋼板覆蓋; 真空室支架底部裝有重型滑輪與水平固定腳
二、  真空抽氣系統(tǒng):
1. 1臺(tái)1200L/s分子泵
2.1臺(tái) 8L/s機(jī)械泵
3. 配置泵組控制電源和電纜線
4. 1個(gè)電控節(jié)流閥,節(jié)流閥的開關(guān)是通過傳感定位調(diào)節(jié)擋板的角度來控制抽速
5. 1個(gè)電控高真空閘板閥連接真空室和分子泵
6. 1個(gè)電控前置閥連接分子泵和機(jī)械泵
7.1個(gè)電控預(yù)抽閥連接真空室和機(jī)械泵
 8. 管道和電磁閥若干
9. 本底極限真空優(yōu)于5´10-4Pa
三、  真空測(cè)量系統(tǒng):
1. 真空規(guī)管控制器與真空顯示儀
2. 2個(gè)熱偶規(guī), 一個(gè)監(jiān)控主真空室,另一個(gè)監(jiān)控分子泵和機(jī)械泵之間的環(huán)境
3. 1個(gè)離子規(guī)
四、  供氣系統(tǒng):
1. 共4路工作氣體對(duì)真空室供氣,所有氣體流量皆由北京七星華創(chuàng)產(chǎn)的質(zhì)量流量計(jì)控制和調(diào)節(jié)。每路的z*大流量為100sccm
2.共4個(gè)截止閥,控制反應(yīng)氣體和工作氣體進(jìn)入腔室
3.共1個(gè)真空室充氣閥
五、  高壓靶臺(tái)及傳動(dòng)系統(tǒng):
1.可夾4寸晶圓片和小試樣若干
2. 以不銹鋼為材料制造,樣品臺(tái)懸浮設(shè)計(jì),固定在水平方向上穩(wěn)定、勻速運(yùn)動(dòng)
3. 采用電動(dòng)旋轉(zhuǎn)控制,可通過變頻器調(diào)整旋轉(zhuǎn)速度
 4. 基片臺(tái)大小:可夾放直徑4寸的樣片和小試樣若干
5. 基片臺(tái)上帶有若干螺絲孔以便裝卸其它工裝臺(tái)面向不同等離子體源作沉積與注入
 6. 穿通電極桿是使用絕緣材料支撐和與地懸浮,可耐壓≤20kV
7.一套懸浮可分格空間的網(wǎng)柵電極
六、  發(fā)散式氣體離子源:
1.         發(fā)散式氣體離子源可用于離化不同的反應(yīng)氣體作等離子體清潔、活化和刻蝕等;在不同的氣壓下,可靈活調(diào)節(jié)離子能做多種工藝探搜
2.         輸出電壓:0V – 2000V
3.         輸出電流:0A – 1A
4.         頻率:40Hz
5.         占空比:10% - 80%
6.         發(fā)散角:~60o
7.         工作模式:恒流
8.         工作氣壓:~2.0 x 10-2 Pa - 8.0 x 10-1 Pa
七、  RF射頻電感耦合輝光放電等離子體系統(tǒng):
1.         射頻輝光離子源可用于離化不同的反應(yīng)氣體作等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD);配和高壓脈沖調(diào)制偏壓電源可對(duì)工件進(jìn)行等離子體浸沒式離子注入(PIII);配和直流疊加脈沖偏壓電源可對(duì)材料進(jìn)行清洗和刻蝕等工藝開發(fā)
2.         射頻配置:13.56MHz頻率500W輸出功率電源,帶有手動(dòng)匹配調(diào)控器、放電天線與相關(guān)電纜
3.         采用射頻電感耦合等離子體放電技術(shù)(RF-ICP),以取得無污染的氣態(tài)等離子體。水冷銅放電天線置于真空室頂部,通過石英玻璃窗在真空室內(nèi)產(chǎn)生氣態(tài)等離子體
八、  高壓脈沖調(diào)制偏壓電源:
1.         可用于在工件臺(tái)加上負(fù)偏壓建立高電場(chǎng),全方位加速周邊離子轟擊樣片,實(shí)現(xiàn)全方位等離子體浸沒式離子注入;該電源可配和RF射頻輝光離子源作多種類的離子注入處理
2.         輸出電壓:1kV – 10kV
3.         z*大脈沖峰值電流:3A
4.         脈沖寬度;10µs – 400µs
5.         頻率:10Hz– 1000Hz
6.         占空比:≤30%
九、  系統(tǒng)操作和控制:
1.         真空抽氣階段保護(hù)和次序開通控制
2.         供氣系統(tǒng)
3.         真空測(cè)量系統(tǒng)
4.         電控調(diào)節(jié)節(jié)流閥
5.         旋轉(zhuǎn)高壓工件臺(tái)
6.         發(fā)散式氣體離子源
7.         RF射頻輝光放電等離子體系統(tǒng)控制
8.         高壓脈沖調(diào)制偏壓控制
9.         對(duì)泵、靶、電極等缺水、過流過壓、斷路等異常情況進(jìn)行報(bào)警并執(zhí)行相應(yīng)保護(hù)措施
3 調(diào)試培訓(xùn)服務(wù) 1. 滿足24小時(shí)熱線服務(wù)
2. 廠家在廣東省內(nèi)設(shè)有技術(shù)支持中心,維修中心,及培訓(xùn)中心
4 其他附件 1. 系統(tǒng)使用說明書及培訓(xùn)文檔
1.交貨要求
1.1交貨期的要求:簽訂合同后  90  天(日歷日)內(nèi)。
1.2投標(biāo)人必須承擔(dān)的設(shè)備運(yùn)輸、安裝調(diào)試、驗(yàn)收檢測(cè)和提供設(shè)備操作說明書、圖紙等其他類似的義務(wù)。
2.售后服務(wù)的要求
2.1貨物免費(fèi)保修期  3  年,時(shí)間自z*終驗(yàn)收合格并交付使用之日起計(jì)算。在保修期內(nèi),一旦發(fā)生質(zhì)量問題,投標(biāo)人保證在接到通知24小時(shí)內(nèi)趕到現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行修理或更換。
2.2投標(biāo)人應(yīng)按其投標(biāo)文件中的承諾,進(jìn)行其他售后服務(wù)工作。
3.關(guān)于驗(yàn)收
3.1投標(biāo)人貨物經(jīng)過雙方檢驗(yàn)認(rèn)可后,簽署驗(yàn)收?qǐng)?bào)告,產(chǎn)品保修期自驗(yàn)收合格之日起算,由投標(biāo)人提供產(chǎn)品保修文件。
3.2當(dāng)滿足以下條件時(shí),采購人才向中標(biāo)人簽發(fā)貨物驗(yàn)收?qǐng)?bào)告:
a、中標(biāo)人已按照合同規(guī)定提供了全部產(chǎn)品及完整的技術(shù)資料。
b、貨物符合招標(biāo)文件技術(shù)規(guī)格書的要求,性能滿足要求。
c、貨物具備產(chǎn)品合格證。
4. …… 5. ……  
序號(hào) 評(píng)分項(xiàng) 權(quán)重
1 價(jià)格 ≥30
2 技術(shù)部分 53-64
序號(hào) 評(píng)分因素 權(quán)重 評(píng)分方式 評(píng)分準(zhǔn)則
1 技術(shù)保障措施 3 專家打分 在投標(biāo)文件中詳細(xì)說明保障措施,評(píng)標(biāo)委員會(huì)根據(jù)響應(yīng)情況進(jìn)行橫向比較,按優(yōu)81-100分,良61-80分,中31-60分,差0分打分。
2 施工安全保障措施 3 專家打分 在投標(biāo)文件中詳細(xì)說明保障措施,評(píng)標(biāo)委員會(huì)根據(jù)響應(yīng)情況進(jìn)行橫向比較,按優(yōu)81-100分,良61-80分,中31-60分,差0分打分。
(可選)
3 交貨期(完工期) 2 專家打分 在投標(biāo)文件中詳細(xì)說明交貨期(完工期),評(píng)標(biāo)委員會(huì)根據(jù)響應(yīng)情況進(jìn)行橫向比較,按優(yōu)81-100分,良61-80分,中31-60分,差0分打分。
4 售后服務(wù)承諾 10月15日 專家打分 評(píng)標(biāo)委員會(huì)根據(jù)投標(biāo)文件中售后服務(wù)承諾情況進(jìn)行橫向比較,按優(yōu)81-100分,良61-80分,中31-60分,差0分打分。不滿足招標(biāo)文件要求的得0分。
5 樣品 2 專家打分 (一般性、標(biāo)準(zhǔn)化程度高、市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)充分的采購項(xiàng)目不允許要求投標(biāo)人提供大樣,特殊的或有特別工藝要求的方可要求投標(biāo)人提供樣品。樣品需求只能將設(shè)計(jì)圖紙作為參考,不得放圖片和照片)
(可選) 評(píng)標(biāo)委員會(huì)根據(jù)樣品情況進(jìn)行橫向比較,按優(yōu)81-100分,良61-80分,中31-60分,差0分打分。
6 技術(shù)響應(yīng)情況 28-49 專家評(píng)分 在投標(biāo)文件中詳細(xì)說明響應(yīng)情況,評(píng)標(biāo)委員會(huì)根據(jù)響應(yīng)情況按優(yōu)81-100分,良61-80分,中31-60分,差0分打分。
3 綜合實(shí)力部分 4月5日
序號(hào) 評(píng)分因素 權(quán)重 評(píng)分方式 評(píng)分準(zhǔn)則
1 投標(biāo)人近三年同類業(yè)績(jī) 2 專家評(píng)分 提供3個(gè)同類業(yè)績(jī)即得滿分,提供2個(gè)得60分,提供1個(gè)得30分,未提供的不得分。投標(biāo)人必須在投標(biāo)文件中提供每一個(gè)完工項(xiàng)目的合同和驗(yàn)收?qǐng)?bào)告,否則不得分。
2 社保情況 1 專家評(píng)分 請(qǐng)?zhí)峁┙齻€(gè)月社保證明書掃描件,原件備查。根據(jù)總?cè)藬?shù)評(píng)分:優(yōu)81-100分,良61-80分,中31-60分,差0分打分。未提供的得0分。
3 納稅情況 1 專家評(píng)分 請(qǐng)?zhí)峁┙荒甓燃{稅證明掃描件,原件備查。根據(jù)納稅總金額評(píng)分:優(yōu)81-100分;良61-80分;中31-60;差0分。未提供的得0分。
4 獎(jiǎng)勵(lì)、獎(jiǎng)項(xiàng)、資質(zhì)、資格 1 專家評(píng)分 請(qǐng)?zhí)峁┆?jiǎng)勵(lì)證明掃描件,原件備查。橫向比較優(yōu)81-100分;良61-80分;中31-60;差0分。未提供的得0分。
(可選)
4 供應(yīng)商社會(huì)責(zé)任 2月10日
序號(hào) 評(píng)分因素 權(quán)重 評(píng)分方式 評(píng)分準(zhǔn)則
1 公益慈善 1 專家評(píng)分 提供近3年社會(huì)公益慈善和見義勇為情況證明材料,未提供的不得分。
2 不良行為記錄 1 專家評(píng)分 深圳企業(yè)信用網(wǎng)和政府采購行政處罰記錄查詢企業(yè)不良記錄,有不良記錄的不得分,沒有不良記錄的得滿分。
3 履約評(píng)價(jià) 3 專家評(píng)分 根據(jù)投標(biāo)人提交的履約評(píng)價(jià)及中心履約評(píng)價(jià)庫中資料打分。優(yōu)得100分,良得80分,中的60分,差的0分。
(可選)
4 環(huán)保執(zhí)行情況 3 專家評(píng)分 近三年有一次受到環(huán)境主管部門處罰的得0分,無處罰的得滿分。投標(biāo)人提交承諾函,若虛假應(yīng)標(biāo)將被廢標(biāo)并報(bào)主管部門處理。
5 總部經(jīng)濟(jì) 1 專家評(píng)分 投標(biāo)人總部在深圳得100分,不在深圳得0分。提供相關(guān)政府部門出具的深圳總部企業(yè)認(rèn)定的證明材料,未提供的不得分。
(可選)
6 節(jié)能環(huán)保 1 專家評(píng)分 1、財(cái)政部、國(guó)家發(fā)展和改革委員會(huì)制定的《節(jié)能產(chǎn)品政府采購清單》;
(可選) 2、財(cái)政部、環(huán)境保護(hù)部制定的《環(huán)境標(biāo)志產(chǎn)品政府采購清單》
上述清單以截圖及網(wǎng)址為準(zhǔn),未提供的不得分。
其它


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