真空泵為真空系統(tǒng)的關(guān)鍵零部件，尤其是用于潔凈及高真空制程工藝中，真空泵更是決定制程品質(zhì)的關(guān)鍵因素。然而不論是真空設(shè)備商或是真空設(shè)備使用者，在選用干式真空泵時(shí)都面臨售價(jià)過高及維修保養(yǎng)昂貴的困境。
真空泵廣泛運(yùn)用于真空冶煉、真空熱處理、真空鍍膜、電氣產(chǎn)品、化工制藥、真空模擬、電光源、硅晶體培植、除水除氣、塑料制品、真空浸漬、真空(冷凍)干燥、制冷裝置、食品加工及包裝、汽車制造等行業(yè)。
干式螺旋真空泵浦乃是利用一對(duì)互相咬合的螺旋轉(zhuǎn)子，在轉(zhuǎn)子間維持微小的間隙，使得真空泵浦運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)腔體內(nèi)無需潤(rùn)滑，因而無油氣回漏污染的問題。透過專利轉(zhuǎn)子線形良好的密封效果，終極壓力可達(dá)7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由于排氣路徑短，粉塵移除能力較其他型式的真空泵浦強(qiáng)，加上轉(zhuǎn)子表面披覆特殊材質(zhì)的鍍膜，因此可適用于PECVD、Etching等嚴(yán)苛制程。
泵浦溫度控制精準(zhǔn)
干式螺旋真空泵浦，承襲上一代真空泵浦優(yōu)良的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)，同時(shí)改善殼體的冷卻方式，采用水套間接水冷的方式來降低殼體的溫度，能夠更精準(zhǔn)地控制泵浦內(nèi)部溫度，減少沉積物的產(chǎn)生，增加真空泵浦的壽命。
密封馬達(dá)安全性高
PS系列真空泵浦亦全面采用專利設(shè)計(jì)的水冷罐裝密封馬達(dá)，除了能維持更低的馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)溫度增加馬達(dá)的壽命外，也可完全避免制程氣體外漏的風(fēng)險(xiǎn)。
微電腦控制保護(hù)周全
PS系列真空泵浦亦可配備微電腦控制器，可同時(shí)監(jiān)控馬達(dá)電流、馬達(dá)溫度、殼體溫度、冷卻水流量、氮?dú)饬髁恳约褒X輪箱油位高低，提供真空泵浦完整的安全性保護(hù)，十分適用于光電、半導(dǎo)體、太陽能與TFT-LCD等產(chǎn)品穩(wěn)定性要求極高之產(chǎn)業(yè)。
