真空元件為什么要作清潔處理
真空元件為什么要作清潔處理 真空衛(wèi)生系指真空裝置在裝成整機以前或使用過程中進行清潔處理去掉污染物而言。所謂污染物是不屬于所用材料組份的物質(zhì)，如機加工中的機油、焊藥、氧化皮等均屬于鈣染物。
真空裝置由許許多多的零件組成，它們都是經(jīng)過各種機械加工完成的，如車、銑、飽、磨、鏜、焊接等。這樣使零件表面不可避免的會沾上許多機加工油脂、汗痕、拋光膏，焊劑等。此外，加工中的焊接夾雜、金屬屑、油垢等也會留在孔隙凹坑之處。這些污染物在真空中易揮發(fā)，影響真空設備的極限真空。此外，污染物在大氣壓下還吸附了大量氣體，在真空環(huán)境中，也要釋放出來，構(gòu)成了限制真空設備極限真空的因素。為此，零件組裝前必須除掉污染物。
零件所用的各種板材、管材都要受到軋制、機械加工、壓延工序、焊接溫度的影響，使零件表面形成氧化層或氮化層。這種表商層呈疏松狀態(tài)，并有龜裂。況且多數(shù)材料都不同程度地存在著雜質(zhì)，以及其它缺陷，這就更容易使污染物藏在其中。再加之由于表面疏松而吸附的氣體，在真空中會慢慢地釋放出來。即使清潔的鋼表面，在空氣中停留十分鐘之后，表面也會形成2nm厚的氧化層。另一方面，由于真實表面比幾何表面大一千倍而吸附的大z*的水蒸氣，亦會成為污染物。
真空設備使用過程中，零件還會受到污染。這種污染同使用條件及真空泵有關。如真空干燥系統(tǒng)，經(jīng)常使用后會受到蒸發(fā)出來的物質(zhì)污染。又如真空鍍膜機的內(nèi)壁會被蒸鍍材料污染。此外，真空中電子槍的燈絲，由于高溫蒸發(fā)會使其附近形成金屬膜。規(guī)管燈絲在高溫下蒸發(fā)，使陶瓷絕緣子上形成薄膜，破壞絕緣強度，影響測量的準確性。此外還會發(fā)生短路、打火等觀象。至于油封機械泵和油擴散泵更是污染源，設備長期工作后會使設備內(nèi)部形成明顯的油膜。這些污染同樣影響設備性能，應注意隨時清除。
超高真空系統(tǒng)中，清潔處理更為重要，良好的清潔處理工藝，可使材料放氣率低幾個數(shù)量級，如不銹鋼長期暴露于大氣后，不進行任何處理，一小時后的出氣率為2.7×10-1帕•升／秒•米2；除油后抽氣4小時，可降到1.3×10-8帕．升／秒•米2；清洗后，在250℃下烘烤15小時，出氣率進一步降低到1.3×10-6帕•升／秒•米2。好的清潔處理工藝，可以提高設備的極限真空。若清潔處理得不好，就達不到超高真空。
真空裝置由許許多多的零件組成，它們都是經(jīng)過各種機械加工完成的，如車、銑、飽、磨、鏜、焊接等。這樣使零件表面不可避免的會沾上許多機加工油脂、汗痕、拋光膏，焊劑等。此外，加工中的焊接夾雜、金屬屑、油垢等也會留在孔隙凹坑之處。這些污染物在真空中易揮發(fā)，影響真空設備的極限真空。此外，污染物在大氣壓下還吸附了大量氣體，在真空環(huán)境中，也要釋放出來，構(gòu)成了限制真空設備極限真空的因素。為此，零件組裝前必須除掉污染物。
零件所用的各種板材、管材都要受到軋制、機械加工、壓延工序、焊接溫度的影響，使零件表面形成氧化層或氮化層。這種表商層呈疏松狀態(tài)，并有龜裂。況且多數(shù)材料都不同程度地存在著雜質(zhì)，以及其它缺陷，這就更容易使污染物藏在其中。再加之由于表面疏松而吸附的氣體，在真空中會慢慢地釋放出來。即使清潔的鋼表面，在空氣中停留十分鐘之后，表面也會形成2nm厚的氧化層。另一方面，由于真實表面比幾何表面大一千倍而吸附的大z*的水蒸氣，亦會成為污染物。
真空設備使用過程中，零件還會受到污染。這種污染同使用條件及真空泵有關。如真空干燥系統(tǒng)，經(jīng)常使用后會受到蒸發(fā)出來的物質(zhì)污染。又如真空鍍膜機的內(nèi)壁會被蒸鍍材料污染。此外，真空中電子槍的燈絲，由于高溫蒸發(fā)會使其附近形成金屬膜。規(guī)管燈絲在高溫下蒸發(fā)，使陶瓷絕緣子上形成薄膜，破壞絕緣強度，影響測量的準確性。此外還會發(fā)生短路、打火等觀象。至于油封機械泵和油擴散泵更是污染源，設備長期工作后會使設備內(nèi)部形成明顯的油膜。這些污染同樣影響設備性能，應注意隨時清除。
超高真空系統(tǒng)中，清潔處理更為重要，良好的清潔處理工藝，可使材料放氣率低幾個數(shù)量級，如不銹鋼長期暴露于大氣后，不進行任何處理，一小時后的出氣率為2.7×10-1帕•升／秒•米2；除油后抽氣4小時，可降到1.3×10-8帕．升／秒•米2；清洗后，在250℃下烘烤15小時，出氣率進一步降低到1.3×10-6帕•升／秒•米2。好的清潔處理工藝，可以提高設備的極限真空。若清潔處理得不好，就達不到超高真空。
