第十講：真空密封
概述 真空系統(tǒng)是由真空泵、閥門、撲集器、導(dǎo)管等各種元件通過不同的連接形式組成的，就是真空室也是由多個部件，多種不同材料的組件組建而成的。這些各式各樣的零件要用不同的密封方法連接在一起，這些密封方法既要保證零件的可靠連接又要防止通過接頭發(fā)生漏氣，保證真空系統(tǒng)的密封質(zhì)量，把真空系統(tǒng)的漏氣率控制在一定范圍內(nèi)，所以真空密封是真空系統(tǒng)設(shè)計、裝配過程中的重要問題。有些真空密封除了要求不漏氣之外，還要求能夠允許電流傳輸、運動的傳輸、材料的遞送或者讓輻射傳輸。為了適應(yīng)各種不同要求，采用了很多種不同結(jié)構(gòu)形式的密封方法，用于真空密封的材料也很多。根據(jù)連接件的相互關(guān)系，密封方法、用途和材料的不同，可以對真空技術(shù)中所使用的密封方法進行分類?？偲饋碚f，根據(jù)被連接件的相互關(guān)系，可以將真空密封分為兩大類：靜密封連接和動密封連接。它們的細(xì)分如圖l所示。這些密封連接方法分別適用于不同的工作條件。
