真空系統(tǒng)對(duì)閥門(mén)的要求
對(duì)大多數(shù)真空系統(tǒng)來(lái)說(shuō)，真空閥門(mén)應(yīng)具有以下廣泛性的性能。1， 防銹性在與真空環(huán)境接觸的材料一定要具有良好的防銹性能。因此廣泛采用鋁合金，銅合金和不銹鋼來(lái)制造真空隔離部件。2， 工作壓力范圍在0～2.5×105Pa相對(duì)較寬的壓力范圍，會(huì)使產(chǎn)品的使用面更廣泛，而且閥板的密封z*好是雙向的，至少閥板在反頂大氣壓時(shí)也可密封。3， 低漏率在高真空領(lǐng)域內(nèi)漏率應(yīng)<10-7Pa·l·s-1,較低的漏率有利于提高系統(tǒng)的效率，對(duì)降低生產(chǎn)成本非常有效。 4， 起動(dòng)時(shí)，震動(dòng)低，對(duì)系統(tǒng)沖擊小。5， 結(jié)構(gòu)緊湊，重量輕6， 明顯的閥位指示7， 可選配加裝閥門(mén)啟閉信號(hào)控制器，便于編程自動(dòng)化控制。8， 高流導(dǎo)9， 采用波紋管作為位移的動(dòng)密封無(wú)動(dòng)態(tài)漏氣，無(wú)油脂污染，可靠性高，相對(duì)橡膠密封，可靠性更高并可以避免產(chǎn)生顆粒污染。10，真空部分盡量避免采用真空脂。11，盡量減少真空部件內(nèi)的無(wú)用空間，以保證真空獲得的時(shí)間更少。12，盡可能的減少功耗。
