真空泵的選擇
真空泵的選擇
真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內(nèi)的氣體壓力，使之達(dá)到要求的真空度。概括地講從大氣到極高真空有一個(gè)很大的范圍，至今為止還沒有一種真空系統(tǒng)能覆蓋這個(gè)范圍。
因此，為達(dá)到不同產(chǎn)品的工藝指標(biāo)、工作效率和設(shè)備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置。為達(dá)到z*佳配置，選擇真空系統(tǒng)時(shí)，應(yīng)考慮下述各點(diǎn)： 確定工作真空范圍: s*先必須檢查確定每一種工藝要求的真空度。因?yàn)槊恳环N工藝都有其適應(yīng)的真空度范圍，必須認(rèn)真研究確定之。
確定極限真空度 在確定了工藝要求的真空度的基礎(chǔ)上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度，因?yàn)橄到y(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的z*佳工作真空度。一般來講，系統(tǒng)的極限真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%，比前級(jí)泵的極限真空度低50%。 被抽氣體種類與抽氣量 檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因?yàn)槿绻怀闅怏w種類與泵內(nèi)液體發(fā)生反應(yīng)，泵系統(tǒng)將被污染。同時(shí)必須考慮確定合適的排氣時(shí)間與抽氣過程中產(chǎn)生的氣體量。 真空容積 檢查確定達(dá)到要求的真空度所需要的時(shí)間、真空管道的流阻與泄漏。 考慮達(dá)到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。主真空泵的選擇計(jì)算 S=2.303V/tLog(P1/P2) 其中： S為真空泵抽氣速率(L/s) V為真空室容積（L） t為達(dá)到要求真空度所需時(shí)間(s) P1為初始真空度(Torr) P2為要求真空度(Torr) 例如： V=500L t=30s P1=760Torr P2=50Torr 則: S=2.303V/t Log(P1/P2) =2.303x500/30xLog(760/50) =35.4L/s 當(dāng)然上式只是理論計(jì)算結(jié)果，還有若干變量因素未考慮進(jìn)去，如管道流阻、泄漏、過濾器的流阻、被抽氣體溫度等。實(shí)際上還應(yīng)當(dāng)將安全系數(shù)考慮在內(nèi)。 中科院沈陽科儀中心
真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內(nèi)的氣體壓力，使之達(dá)到要求的真空度。概括地講從大氣到極高真空有一個(gè)很大的范圍，至今為止還沒有一種真空系統(tǒng)能覆蓋這個(gè)范圍。
因此，為達(dá)到不同產(chǎn)品的工藝指標(biāo)、工作效率和設(shè)備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置。為達(dá)到z*佳配置，選擇真空系統(tǒng)時(shí)，應(yīng)考慮下述各點(diǎn)： 確定工作真空范圍: s*先必須檢查確定每一種工藝要求的真空度。因?yàn)槊恳环N工藝都有其適應(yīng)的真空度范圍，必須認(rèn)真研究確定之。
確定極限真空度 在確定了工藝要求的真空度的基礎(chǔ)上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度，因?yàn)橄到y(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的z*佳工作真空度。一般來講，系統(tǒng)的極限真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%，比前級(jí)泵的極限真空度低50%。 被抽氣體種類與抽氣量 檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因?yàn)槿绻怀闅怏w種類與泵內(nèi)液體發(fā)生反應(yīng)，泵系統(tǒng)將被污染。同時(shí)必須考慮確定合適的排氣時(shí)間與抽氣過程中產(chǎn)生的氣體量。 真空容積 檢查確定達(dá)到要求的真空度所需要的時(shí)間、真空管道的流阻與泄漏。 考慮達(dá)到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。主真空泵的選擇計(jì)算 S=2.303V/tLog(P1/P2) 其中： S為真空泵抽氣速率(L/s) V為真空室容積（L） t為達(dá)到要求真空度所需時(shí)間(s) P1為初始真空度(Torr) P2為要求真空度(Torr) 例如： V=500L t=30s P1=760Torr P2=50Torr 則: S=2.303V/t Log(P1/P2) =2.303x500/30xLog(760/50) =35.4L/s 當(dāng)然上式只是理論計(jì)算結(jié)果，還有若干變量因素未考慮進(jìn)去，如管道流阻、泄漏、過濾器的流阻、被抽氣體溫度等。實(shí)際上還應(yīng)當(dāng)將安全系數(shù)考慮在內(nèi)。 中科院沈陽科儀中心
